Forschung

Der Lehr­stuhl für Mikrosystemtechnik verfolgt derzeit vier Schwerpunkte, die sich insbesondere in der Technologie-Basis weitgehend überschneiden. Dazu steht ein eigener Reinraum zur Verfügung, der 2010 gebaut und 2017 - 2019 wegen erheblicher baulicher Mängel grundlegend überarbeitet und für die Bearbeitung von Wafern bis 200 mm ertüchtigt wurde. Darüber hinaus werden Geräte im Zentrum für Grenzflächen-dominierte Höchstleistungswerkstoffe betreut und genutzt, insbesondere die dort vorhandenen Anlagen zum Plasma-basierten Ätzen, und es besteht eine aktive Kooperation mit dem IMN MacroNano® und ZMN der TU Ilmenau.

"Phantasie ist wichtiger als Wissen, denn Wissen ist begrenzt. Phantasie aber umfasst die ganze Welt."
Albert Einstein
                                                                                                                                                                                        

Projekte

Veröffentlichungen

Kooperationen


Ausstattung

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im ID-Gebäude, der 2020 fertig gestellt wurde. 

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Postanschrift

Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum
Fa­kul­tät für Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Postfach ID 7
Uni­ver­si­täts­stra­ße 150
D-44801 Bo­chum

Kontaktdaten

Se­kre­ta­ri­at   
Raum: ID 05/441
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 22183 
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14166    
E-Mail: sekretariat-mst@​rub.​de        
La­ge­plan & An­rei­se­infor­ma­tio­nen der RUB                                                                            

Lehrstuhlinhaber

Prof. Dr.-Ing. Mar­tin Hoff­mann 
Raum: ID 05/439 
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 27700
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14166
E-Mail: martin.​hoffmann-mst@​rub.​de
 

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