Publikationen

2022

Francesca Schenkel, Irwin Barengolts, Lisa Schmitt, Ilona Rolfes, Martin Hoffmann, Jan Barowski:
Silicon based Metamaterials for Dielectric Waveguides in the THz Range
In: 21st Mediterranean Microwave Symposium (MMS) 2022, May 9-13 2022.

Petr Kadera, Jesús Sánchez-Pastor, Lisa Schmitt, Martin Schüßler, Rolf Jakoby, Martin Hoffmann, Alejandro Jiménez-Sáez, Jaroslav Lacik:
Sub-THz Luneburg lens enabled wide-angle frequency-coded identification tag for passive indoor self-localization
In: International Journal of Microwave and Wireless Technologies , First View , pp. 1 - 15 (2022)
DOI: 10.1017/S175907872200054X

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
A passive acceleration sensor with mechanical 6 bit memory and mechanical analog-to-digital converter
In: Micro and Nano Engineering, May 2022, 100142
DOI: 10.1016/j.mne.2022.100142

Michael Olbrich, Mario Farny, Martin Hoffmann, Christoph Ament:
Modeling and Control Design of a Contact-Based, Electrostatically Actuated Rotating Sphere
In: Actuators 2022, 11, 90
DOI: 10.3390/act11030090

R.-M. Neubieser, J.-L. Wree, J. Jagosz, M. Becher, A. Ostendorf, A. Devi, C. Bock, M. Michel, A. Grabmaier:
Low-Temperature ALD Process Development of 200 mm wafer-scale MoS2 for Gas Sensing Application
In: Micro and Nano Engineering, Vol. 15, 100126 (2022)
DOI: 10.1016/j.mne.2022.100126

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Tracing the Force-Displacement Characteristics of Non-Linear Microsystems by In-Situ Characterization
In: 2022IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS), 2022, pp. 691-694
DOI: https://doi.org/10.1109/MEMS51670.2022.9699564


2021

Christoph Weigel, Ulrike Brokmann, Meike Hofmann, Arne Behrens, Edda Rädlein, Martin Hoffmann, Steffen Strehle, Stefan Sinzinger:
Perspectives of reactive ion etching of silicate glasses for optical microsystems
In: J. of Optical Microsystems, 1(4), 040901 (2021)
DOI: https://doi.org/10.1117/1.JOM.1.4.040901

Anna Thewes, Philip Schmitt, Philipp Löhler, Martin Hoffmann:
Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von Zellen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Lisa Schmitt, Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Mechanischer 3-Bit Digital-Analog-Wandler (DAC) mit großem Stellweg
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Energieautarker Beschleunigungssensor mit Maximalwertspeicher
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Mario Farny, Martin Hoffmann:
Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer Kugel
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

M. Hoffmann, P. Schmitt, S. Zimmermann, C. Stöckel, R. Forke, V. Geneiß, S. Wittemeier, C. Hedayat, U. Hilleringmann, H. Kuhn:
Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

M. Hoffmann, P. Awakowicz, A. Devi, J. Schulze, B. Freyer, F.P. Witek, C. Bock
Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel
A process-integrating cluster tool for 2D materials: from single process to wafer level integration

In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

M. Becher, J.-L. Wree, T. Berning, R.-M. Neubieser, A. Ostendorf, A. Devi, C. Bock, M. Michel:
Raman spectroscopy as an effective tool for characterizing large-area 2D TMDs deposited from the gas phase
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

T. Berning, S. M. J. Beer, N. Boysen, A. Devi, C. Bock:
Electrical properties of functional Y2O3 films applied to thin film transistors
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Hannes Mehner, Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-Bereich
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Christoph Weigel, Hai Binh Phi, Martin Hoffmann, Stefan Sinzinger, Steffen Strehl:
Vergleich der Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer Ausdehnung
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Xuan Liu, Lisa Schmitt, Kevin Kolpatzeck, Martin Hoffmann, Jan C. Balzer and Andreas Czylwik:
Configuration of a MEMS-based Terahertz Reflectarray Using a Genetic Algorithm
In: 2021 46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), 2021, pp. 1-2
DOI: https://ieeexplore.ieee.org/document/9567102

Lisa Schmitt and Martin Hoffmann:
Large Stepwise Discrete Microsystem Displacements Based on Electrostatic Bending Plate Actuation
In: Actuators 2021, 10(10), 272
DOI: https://www.mdpi.com/2076-0825/10/10/272

Shraddha Supreeti, Ralf Schienbein, Patrick Feßer, Florian Fern,  Martin Hoffmann and Stefan Sinzinger:
Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces
In: Nanomanufacturing and Metrology (2021) 4:175–180
DOI: https://doi.org/10.1007/s41871-021-00114-6

Sebastian M.J. Beer, Nils Boysen, Arbresha Muriqi, David Zanders, Thomas Berning, Detlef Rogalla, Claudia Bock, Michael Nolan and Anjana Devi: 
A study on the influence of ligand variation on formamidinate complexes of yttrium: new precursors for atomic layer deposition of yttrium oxide
In: Dalton Transactions, 2021, Advance Article.
DOI: 10.1039/D1DT01634B

Anna Christina Thewes, Philip Schmitt, Philipp Löhler and Martin Hoffmann:
Design and Characterization of an Electrostatic Constant-Force Actuator Based on a Non-Linear Spring System
In: Actuators 2021, 10(8), 192. 
DOI: 10.3390/act10080192

Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
3-Bit Digital-to-Analog Converter with Mechanical Amplifier for Binary Encoded Large Displacements
In: Actuators 2021, 10, 182.
DOI: 10.3390/act10080182

Zanders,David; Liu, Ji; Obenlüneschloß, Jorit; Bock, Claudia; Rogalla, Detlef; Mai, Lukas; Nolan, Michael; Barry, Seán T.; Devi, Anjana:
Cobalt Metal ALD: Understanding the Mechanism and Role of Zinc Alkyl Precursors as Reductants for Low-Resistivity Co
Thin Films

In: Chem. Mater. 2021
DOI: 10.1021/acs.chemmater.1c00877

Lu, Pai; Chen, Xuyuan; Ohlckers, Per; Halvorsen, Einar; Hoffmann, Martin; Müller, Lutz:
DRIE Si Nanowire Arrays Supported Nano-Carbon Film for Deriving High Specific Energy Supercapacitors On-Chip
In: J. Phys.: Conf. Ser. 1837 012005
DOI: 10.1088/1742-6596/1837/1/012005

Schmitt, Philip; Schmitt, Lisa; Tsivin, Nick; Hoffmann, Martin:
Highly Selective Guiding Springs for Large Displacements in Surface MEMS
In: Journal of Microelectromechanical Systems, May 2021
DOI: 10.1109/JMEMS.2021.3074822

Boysen, Nils; Zanders, David; Berning, Thomas; Beer, Sebastian M. J.; Rogalla, Detlef; Bock, Claudia; Devi, Anjana:
Atomic layer deposition of dielectric Y2O3 thin films from a homoleptic yttrium formamidinate precursor and water
In: Royal Society of Chemistry Adv., 2021, 11, 2565–2574
DOI: 10.1039/d0ra09876k

Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Denissel, Felix Arthur; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen:
Highly Anisotropic Fluorine-Based Plasma Etching of Ultra-Low Expansion Glass
In: Advanced Engineering Materials 2021, 2001336
DOI: 10.1002/adem.202001336

Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin:
Stepwise Electrostatic Actuator System for THz Reflect Arrays
In: GMM-Fachbericht 98: ACTUATOR 2021;
International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 17. - 19. Februar 2021

Conrad, Peter; Hoffmann, Martin:
A Consistent View on Cooperative Multistage Electrostatic Actuation
In: GMM-Fachbericht 98: ACTUATOR 2021;
International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 17. - 19. Februar 2021

Kadera, Petr; Jiménez-Sáez, Alejandro; Schmitt, Lisa; Schüßler, Martin; Hoffmann, Martin; Lacik, Jaroslav; Jakoby, Rolf:
Frequency Coded Retroreflective Landmark for 230 GHz Indoor Self-Localization System
In: 15th European Conference on Antennas and Propagation (EuCAP), 22-26 March 2021
DOI: 10.23919/EuCAP51087.2021.9410973

Schmitt, L.; Liu, X.; Czylwik, A.; Hoffmann, M.:
Design and Fabrication of MEMS Reflectors for THz Reflect-Arrays
In: 2021 Fourth International Workshop on Mobile Terahertz Systems (IWMTS), 2021, pp. 1-5
DOI: 10.1109/IWMTS51331.2021.9486804


2020

Jiménez-Sáez, A.; Alhaj-Abbas, A.; Schüßler, M.; Abuelhaija, A.; El-Absi, M.; Sakaki, M.; Samfaß, L.; Benson, N.; Hoffmann, M.;
Jakoby, R.; Kaiser, T.; Solbach, K.:
Frequency-Coded mm-Wave Tags for Self-Localization System Using Dielectric Resonators
In: J. Infrared Millim. Terahertz Waves, Vol. 41, 908–925(2020)
DOI: 10.1007/s10762-020-00707-0

Liu, Xuan; Samfaß, Lisa; Kolpatzeck, Kevin; Häring, Lars; Balzer, Jan C.; Hoffmann, Martin; Czylwik, Andreas:
Terahertz Beam Steering Concept Based on a MEMS-Reconfigurable Reflection Grating
In: Sensors 2020, 20(10), 2874
DOI: 10.3390/s20102874

Mai, Lukas; Mitschker, Felix; Bock, Claudia; Niesen, Alessia; Ciftyurek, Engin; Rogalla, Detlef; Mickler, Johannes;
Erig, Matthias; Li, Zheshen; Awakowicz, Peter; Schierbaum, Klaus; Devi, Anjana:
From Precursor Chemistry to Gas Sensors: Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Process Engineering for
Zinc Oxide Layers from a Nonpyrophoric Zinc Precursor for Gas Barrier and Sensor Applications

In: Small 2020, 1907506
DOI: 10.1002/smll.201907506

Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
Engineering a Compliant Mechanical Amplifier for MEMS Sensor Applications
In: Journal of Microelectromechanical Systems PP(99):1-14, 2020
DOI: 10.1109/JMEMS.2020.2965260

Schricker, K.; Samfaß, L.; Grätzel, M.; Ecke, G.; Bergmann, J.P.:
Bonding mechanisms in laser-assisted joining of metal-polymer composites
In: Journal of Advanced Joining Processes, 1 (2020) 100008
DOI: 10.1016/j.jajp.2020.100008

Samfaß, Lisa; Baak, Nikolas; Meya, Rickmer; Hering, Oliver; Tekkaya, A. Erman; Walther, Frank:
Micro-magnetic damage characterization of bent and cold forged parts
In: Production Engineering 14, 77–85(2020)
DOI: 10.1007/s11740-019-00934-y

Biermann, S.; Magi, A.; Sachse, P.; Hoffmann, M.; Wedrich, K.; Müller, L.; Koppert, R.; Ortlepp, T.; Baldauf, J.:
Advanced broadband MEMS infrared emitter based on high-temperature-resistant nanostructured surfaces and
packaging solutions for harsh environments

In: Proceedings Volume 11279; Terahertz, RF, Millimeter, and Submillimeter-Wave Technology and Applications XIII; 1127908 (2020)
DOI: 10.1117/12.2545119

Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Liu, Xuan; Czylwik, Andreas; Hoffmann, Martin:
Micromechanical Reflect-Array for THz Radar Beam Steering based on a Mechanical D/A Converter and a Mechanical Amplifier
In: 2020 Third International Workshop on Mobile Terahertz Systems (IWMTS)
DOI: 10.1109/IWMTS49292.2020.9166235

Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
Direct Binary Encoding of Displacements on the Nano-Scale
In: 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
DOI: 10.1109/MEMS46641.2020.9056116

Hoffmann, Martin:
Preface / Vorwort
In: GMM-Fachbericht 97: Mikro-Nano-Integration, 8. GMM-Workshop 15. – 17.09.2020 Online

Thewes, Anna; Breisch, Marina; Sengstock, Christina; Hoffmann, Martin:
Vitality investigation of adherent stem cells on nano-structured silicon surface
Vitalitätsuntersuchung adhärenter Stammzellen auf nanostrukturierter Silicium-Oberfläche
In: GMM-Fachbericht 97: Mikro-Nano-Integration, 8. GMM-Workshop 15. – 17.09.2020 Online

Berning,T.; Wree, J.-L.; Devi, A.; Bock,C.:
Strukturierung von großflächig abgeschiedenen Übergangsmetall-Dichalkogenid Filmen für den Einsatz in der 2D-Elektronik
In: GMM-Fachbericht 97: Mikro-Nano-Integration, 8. GMM-Workshop 15. – 17.09.2020 Online
 


2019

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
Comparision of Deep Etched Borosilicate Glasses in a Fluorine Based Plasma
In: 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 23-27 June 2019
DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808269

Stegner, J.; Gropp, S.; Fischer, M.; Stehr, U.; Hoffmann, M.; Muller, J.; Hein, M.A.:
Cross-Hierarchical Design of Compact RF-MEMS Oscillator Circuits on a Silicon-Ceramic Composite Substrate
In: IFCS/EFTF 2019 - Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and European Frequency and Time Forum, Proceedings
DOI: 10.1109/FCS.2019.8856111

Stegner, J.; Fischer, M.; Gropp, S.; Stehr, U.; Muller, J.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
Highly Integrated RF-MEMS Multi-Frequency Oscillator on a Silicon-Ceramic Composite Substrate
In: 2019 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
DOI: 10.1109/mwsym.2019.8700986

Supreeti, Shraddha; Kirchner, Johannes; Hofmann, Martin; Mastylo, Rostyslav; Rangelow, Ivo W.; Manske, Eberhard; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan:
Integrated Soft UV-Nanoimprint Lithography in a Nanopositioning and Nanomeasuring machine for accurate positioning of stamp to substrate
In: Proc. SPIE 10958, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019, 1095819
DOI: 10.1117/12.2514832

Zanders, David; Ciftyurek, Engin; Subasi, Ersoy; Huster, Niklas; Bock, Claudia; Kostka, Aleksander; Rogalla, Detlef;
Schierbaum, Klaus; Devi, Anjana:
PEALD of HfO2 Thin Films: Precursor Tuning and a New Near- Ambient-Pressure XPS Approach to in Situ Examination
of Thin-Film Surfaces Exposed to Reactive Gases

In: ACS Appl. Mater. Interfaces 2019, 11, 28407-28422
DOI: 10.1021/acsami.9b07090

Jaehnike, Felix; Pham, Duy Vu; Bock, Claudia; Kunze, Ulrich:
Role of gallium and yttrium dopants on the stability and performance of solution processed indium oxide thin-film transistors
In: J. Mater. Chem. C, 2019, 7, 7627-7635
DOI: 10.1039/C8TC06270F

Mai, Lukas; Zanders, David; Subasi, Ersoy; Ciftyurek, Engin; Hoppe, Christian; Rogalla, Detlef; Gilbert, Wolfram;
de los Arcos, Teresa; Schierbaum, Klaus; Grundmeier, Guido; Bock, Claudia; Devi, Anjana:
Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Tin(IV) Oxid from a Functionalized Alkyl Precursor:
Fabrication and Evaluation fo SnO2-Based Thin-Film Transistor Devices

In: ACS Appl. Mater. Interfaces 2019, 11, 3169-3180
DOI: 10.1021/acsami.8b16443

Kasischke, Maren; Subasi, Ersoy; Bock, Claudia; Pham, Duy-Vu, Gurevich, Evgeny L.; Kunze, Ulrich; Ostendorf, Andreas:
Femtosecond laser patterning of grapheme electrodes for thin-film transistors
In: Applied Surface Science 478 (2019) 299-303
DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.198

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Stegner, Johannes; Frank, Astrid; Hoffmann, Martin; Mueller, Jens:
Silicon-Ceramic Composite Substrate
In: IEEE Microwave Magazine ( Volume: 20, Issue: 10, Oct. 2019)
DOI: 10.1109/MMM.2019.2928675

Wree, Jan-Lucas; Berning, Thomas; Bock, Claudia; Devi; Anjana:
Chemische Gasphasenabscheidung von 2D Übergangsmetall Dichalkogeniden für mikroelektronische Anwendungen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Schmitt, Philip; Tsivin, Nick; Hoffmann, Martin:
Micromechanical Analog-to-Digital Converter for digitization of mechanical displacements
Mikromechanischer Analog-Digital-Wandler zur Digitalisierung mechanischer Verschiebungen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Bock, Claudia; Subasi, Ersoy; Berning, Thomas; Pham, Duy Vu; Kunze, Ulrich:
Graphen-Elektroden für den Einsatz in Metalloxid-ünnfilmtransistoren
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin:
Dry chemical release of microstructures in the glass ceramic Zerodur
Trockenchemisches Freistellen von Mikrostrukturen in der Glaskeramik Zerodur

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications
In: 22nd European Microelectronics and Packaging Conference and Exhibition, EMPC 2019
DOI: 10.23919/EMPC44848.2019.8951824

Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications
Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Thewes, Anna; Weigel, Christoph; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin:
Optimization of a flexural plate wave sensor for high penetration depth and sensitivity
Optimierung eines Biegeplattenwellensensors für hohe Eindringtiefe und Sensitivität

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Magi, Andre; Biermann, Steffen; Koppert, Ralf; Hoffmann, Martin:
High temperature-resistant nanostructured infrared emitter
Hochtemperatur-feste nanostrukturierte IR-Emitter

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Weigel, Christoph; Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Mikrofluidische In-plane-Kontaktierungskonzepte
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Stehr, Uwe; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias:
Multiphysical design approach for compact RF MEMS oscillators on a SiCer composite substrate
Ganzheitliche Entwurfsmethodik für kompakte HF-MEMS-Oszillatoren auf einem SiCer-Verbundsubstrat

In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
How to Defeat Electric Noise in Measurement Acquisition Using a Micromechanical Analog-to-Digital Converter
In: Transducers 2019 – EUROSENSORS XXXIII – Berlin, 23-27 June 2019
DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808539


2018

M. Kühnel, T. Fröhlich, R. Füßl, M. Hoffmann, E. Manske, I. W. Rangelow, J. Reger, C. Schäffel, S. Sinzinger, J.-P. Zöllner:
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
In: Meas. Sci. Technol. 29, 114002
DOI: 10.1088/1361-6501/aadb57

Stegner, J.; Fischer, M.; Gropp, S.; Stehr, U.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
A Multi-Frequency MEMS-Based RF Oscillator Covering the Range from 11.7 MHz to 1.9 GHz
In: 2018 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
DOI: 10.1109/MWSYM.2018.8439449

Stegner, J.; Gropp, S.; Podoskin, D.; Stehr, U.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
An Analytical Formulation of the Radio-Frequency Response of Piezoelectric Contour-Mode MEMS Resonators Verified by Measurements
In: IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium
DOI: 10.1109/FCS.2018.8597517

Stegner, J.; Gropp, S.; Podoskin, D.; Stehr, U.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
An analytical temperature-dependent design model for contour-mode MEMS resonators and oscillators verified by measurements
In: Sensors 2018, 18(7), 2159
DOI: 10.3390/s18072159

Schmitt, Philip; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
A Micromechanical Binary Counter with MEMS-Based Digital-to-Analog Converter
In: Proceedings 2018, 2, 807
DOI: 10.3390/proceedings2130807

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
Deep etched and released microstructures in Zerodur in a fluorine-based plasma
In: Microelectronic Engineerung, Volume 198, 15 October 2018, pp. 78-84
DOI: 10.1016/j.mee.2018.07.004

Si, Shuhao; Hoffmann, Martin:
Image inverting, topography and feature size manipulation using organic/inorganic bi-layer lift-off for nanoimprint template
In: Microelectronic Engineering, Volume 197, S. 39-44, October 2018
DOI: 10.1016/j.mee.2018.05.005

Stehr, U.; Stegner, J.; Fischer, M.; Gropp, S.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
Multiphysical design of compact RF modules on a silicon-ceramics substrate
In: GeMiC 2018 - 2018 German Microwave Conference
DOI: 10.23919/GEMIC.2018.8335032

Cwik, Stefan; Mitoraj, Dariusz; Mendoza Reyes, Oliver; Rogalla, Detlef; Peeters, Daniel; Kim, Jiyeon; Schütz, Hanno Maria;
Bock, Claudia; Beranek, Radim; Devi, Anjana:
Direct growth of MoS2 and WS2 layers by Metal Organic Chemical Vapor Deposition
In: Adv. Mater. Interfaces 2018
DOI: 10.1002/admi.201800140

Weigel, Christoph; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
A microoptical sidestream cuvette based on fast passive gas exchange for capnography
In: Sensors and Actuators A: Physical, Volume 276, 15. Juni 2018, S. 68-75
DOI: 10.1016/j.sna.2018.04.022

Weigel, Christoph; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin:
Deep etching of Zerodur glass ceramics in a fluorine-based plasma
In: Microelectronic Engineering, Volume 185-186, 05. Januar 2018, S. 1-8
DOI: 10.1016/j.mee.2017.10.013

Stegner, J.; Fischer, M.; Gropp, S.; Stehr, U.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
Design and implementation of a MEMS-based RF oscillator on a unique silicon-ceramic composite substrate
In: GeMiC 2018 - 2018 German Microwave Conference
DOI: 10.23919/GEMIC.2018.8335031

Mai, Lukas; Boysen, Nils; Subasi, Ersoy; de los Arcos, Teresa; Rogalla, Detlef; Grundmeier, Guido; Bock, Claudia;
Lu, Hong-Liang; Devi, Anjana:
Water assisted atomic layer deposition of yttrium oxide using tris(N,N'-diisopropyl-2-dimethylamido-guanidinato)
yttrium(III): process development, film characterization and functional properties

In: RSC Advances, 2018, 8, 4987-4994
DOI: 10.1039/C7RA13417G

Yuan, Qian; Döll, Joachim; Romanus, Henry; Wang, Hongmei; Bartsch, Heike; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Schaaf, Peter;
Wang, Dong:
Surface-Nanostructured Al-AlN Composite Thin Films with Excellent Broad-Band Antireflection Properties Fabricated by
Limited Reactive Sputtering

In: ACS Appl. Nano Mater. 2018, 1, 1124-1130
DOI: 10.1021/acsanm.7b00302

Günther, Sarah; Si, Shuhao; D’heer, Herbert; Van Thourhout, Dries; Hoffman, Martin:
FDTS as Dewetting Coating for an Electrowetting Controlled Silicon Photonic Switch
In: IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, VOL. 30, NO. 23, DECEMBER 1, 2018
DOI: 10.1109/LPT.2018.2874351

Bichra, M.; Meinecke, T.; Fesser, P.; Müller, L.; Hoffmann, M.; Sinzinger, S.:
Freeform characterization based on nanostructured diffraction gratings
In: Applied Optics, Vol. 57, Issue 14, pp. 3808-3816 (2018)
DOI: 10.1364/AO.57.003808

Hoffmann, Martin:
Preface / Vorwort
In: 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2018, Dortmund, 22.-23. Oktober 2018

Subasi, Ersoy; Boysen, Nils; Mai, Lukas; Pham, Duy-Vu; Bock, Claudia; Devi, Anjana, Kunze, Ulrich:
Y2O3 sol-gel passivation layer for solution-processed metal-oxide thin-film transistors
In: 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2018, Dortmund, 22.-23. Oktober 2018

Bock, Claudia; Subasi, Ersoy; Kasischke, Maren; Pham, Duy-Vu; Xiao, Shizhou; Du, Keming; Ostendorf, Andreas; Kunze, Ulrich:
Effective conversion processes of metal-oxide precursors for the reduction of the conversion temperature in solution
processed metal-oxide thin-film transistors

In: 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2018, Dortmund, 22.-23. Oktober 2018

Günther, Sarah; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; D’heer, Herbert; van Thourhout, Dries; Neft, Anna; Bartels, Frank;
Gradkowski, Kamil; Carroll, Lee; O’Brien, Peter; Lerma-arce, Cristina; Watté , Jan:
Electrowetting Controlled Non-Volatile Integrated Optical Switch
In: 44th European Conference on Optical Communication 2018, Rom, 23.-27. September 2018
DOI: 10.1109/ecoc.2018.8535585

Hanitsch, Stefan; Pliquett, Uwe; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
MEMS Needle Electrode for Impedance Spectroscopy on Cell Spheroids
BMT 2018, Aachen, 26.–28.09.2018
In: Biomed. Eng.-Biomed. Tech. 2018; 63(s1): S.333
DOI: 10.1515/bmt-2018-6051

Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Automatisierte Testung Stimuli-sensitiver Funktionsmaterialien
11. Thüringer Biomaterial Kolloquium, Zeulenroda, 13.-15.03.2018


2017

Pai Lu, Lutz Müller, Martin Hoffmann, Xuyuan Chena:
Taper silicon nano-scaffold regulated compact integration of 1D nanocarbons for improved on-chip supercapacitor
In: Nano Energy, Vol. 41, November 2017, Pages 618-625
DOI: https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2017.10.019

Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Material dependence of the contact behaviour of oscillating microprobes - modelling and experimental evidence
In: Journal of Micro- and Nanomanufacturing 5(2), 2. März 2017
DOI: 10.1115/1.4035619

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
Stress-modulated tilt actuator for tunable optical prisms
In: Sensors and Actuators A: Physical Volume 266, 15. Oktober 2017, S. 328 - 337
DOI: 10.1016/j.sna.2017.09.021

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
The NanoTuFe - Fabrication of large area periodic nanopatterns with tunable feature sizes at low cost
In: Microelectronic Engineering, Volume 180, 5. August 2017, pp. 71-80
DOI: 10.1016/j.mee.2017.06.002

Si, Shuhao; Hoffmann, Martin:
Consecutive imprinting performance of large area UV nanoimprint lithography using bi-layer soft stamps in ambient atmosphere
In: Microelectronic Engineering, Volume 176, 25. Mai 2017, pp. 62-70
DOI: 10.1016/j.mee.2017.01.032

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Low-cost fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes at a constant pitch
In: Microelectronic Engineering, Volume 170, 25. Februar 2017, pp. 34-38
DOI: 10.1016/j.mee.2016.12.023

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Müller, Lutz; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin:
A monolithic micro-optical interferometer deep etched into fused silica
In: Microelectronic Engineering, Volume 174 (2017), 25. April 2017, pp. 40-45
DOI: 10.1016/j.mee.2017.01.002

Weigel, Christoph; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin:
Deep etching of Zerodur glass ceramics in a fluorine-based plasma
In: Microelectronic Engineering, Oktober 2017
DOI: 10.1016/j.mee.2017.10.013

J. F. von Pock, D. Salloch, U. Wieser, T. Hackbarth, and U. Kunze:
Identification and separation of rectifier mechanisms in Si/SiGe ballistic cross junctions
In: J. Appl. Phys. 121, 014304 (2017).
DOI: 10.1063/1.4973279

J. von Pock, U. Wieser, and U. Kunze:
Input-current addition in closely positioned dual-stage ballistic rectifiers
In: Phys. Rev. Applied 7, 044023 (2017).
DOI: 10.1103/PhysRevApplied.7.044023

Si, Shuhao; Fesser, Patrick; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan:
Multi-Level Diffractive Lenses Patterning on Convex Lens by Soft UV Nanoimprint Lithography
In: The 16th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2017),
Gyeongnam, Korea, 8.-10. November 2017

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Image Inverting and Manipulation using Bi-layer Lift-off for NIL Template
In: The 16th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2017),
Gyeongnam, Korea, 8.-10. November 2017

Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin
Active pore for sensor protection: A PNIPAM based micro valve in LTCC
IEEE Sensors Conference, Glasgow, UK, 29.10.-01.11. 2017
DOI: 10.1109/ICSENS.2017.8234338

Müller, L.; Hoffmann, M.; Maier, K.; Helwig, A.:
Catalytic silicon-platinum nanostructures for low-temperature MEMS hydrogen sensors
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Weigel, C.; Hoffmann, M.; Schonefeld, W.:
Deep etching of Zerodur in fluorine plasma for microsystems technology
Fluor-basiertes plasmatiefenätzen von zerodur für mikrotechnische anwendungen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Goj, B.; Bohm, S.; Dittrich, L.; Dressler, L.; Kühnel, M.; Fröhlich, T.; Hoffmann, M.; Imn, M.:
Measurement of the surface tension utilizing a MEMS-based tensiometer
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Müller, L.; Mehner, H.; Hoffmann, M.:
MEMS field ionization gas sensor based on palladium nanostructures
MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Si, S.; Dittrich, L.; Weigel, C.; Hoffmann, M.:
Miniaturization of periodic nanostructures for NIL masters with adjustable structure dimensions
Verkleinerung periodischer Nanostrukturen für NIL-Master mit einstellbaren Strukturdimensionen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Bohm, S.; Goj, B.; Dittrich, L.; Dressler, L.; Hoffmann, M.; Imn, M.:
Modelling of the contact behaviour of oscillating microprobes
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Bichra, M.; Müller, L.; Fesser, P.; Hoffmann, M.; Sinzinger, S.:
Nanostructured diffraction gratings for integrated metrology
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Günther, S.; Endrödy, C.; Si, S.; Gropp, S.; Weinberger, S.; Claes, R.; Justo, Y.; Herbert D'heer, Ir.; van Thourhout, D.; Neft, A. et al.:
Optical switching with a EWOD based system
EWOD System für optische Schalter

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Mehner, H.; Schmitt, P.; Hoffmann, M.:
Passive mechanical 2-bit counter for detection and storage of off-limit conditions
Passiver mechanischer 2-Bit Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Wedrich, K.; Mehner, H.; Hoffmann, M.:
Passive shock-threshold-sensor
Passiver Schock-Maximalwertsensor

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Schmitt, P.; Wedrich, K.; Hoffmann, M.:
Passive temperature-time-integrator
Autonomer Temperatur-Zeit-Integrator

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Gropp, S.; Stegner, J.; Stehr, U.; Fischer, M.; Müller, J.; Hein, M.; Hoffmann, M.:
Silicon-ceramic-combosite material for RF-MEMS-oscillator
Silicium-keramik-verbundsubstrat für einen HF-MEMS oszillator

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Leopold, S.; Hoffmann, M.:
Tilt actuation for tunable micro-prisms due to thermo-mechanical modulation of residual stress in aluminum nitride thin film beams
Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Lu, P.; Du, K.; Ohlckers, P.; Halvorsen, E.; Muller, L.; Leopold, S.; Hoffmann, M.; Grigoras, K.; Ahopelto, J.; Prunnila, M. et al.:
Silicon grass based nano functional electrodes for MEMS supercapacitors of improved energy density
In: TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994425

Lu, P.; Halvorsen, E.; Ohlckers, P.; Müller, L.; Leopold, S.; Hoffmann, M.; Grigoras, K.; Ahopelto, J.; Prunnila, M.; Chen, X.:
Ternary composite Si/TiN/MnO2 taper nanorod array for on-chip supercapacitor
In: Electrochimica Acta, Volume 248, 2017, Pages 397-408
DOI: 10.1016/j.electacta.2017.07.162

Schmitt, Philip; Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
Design, fabrication and characterization of a microfluidic time-temperature indicator
In: J. Phys.: Conf. Ser. 922 012004 (20217)
DOI: 10.1088/1742-6596/922/1/012004

Günther, S.; Endrödy, C.; Si, S.; Weinberger, S.; Claes, R.; Justo, Y.; D'Heer, H.; Neft, A.; Hoffmann, M.:
EWOD system designed for optical switching
In: 2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
DOI: 10.1109/MEMSYS.2017.7863665

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Low-cost fabrication of large area periodic nanopatterns with tunable feature sizes using soft UV-Nanoimprint at ambient atmosphere
In: 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2017),
Orlando, USA, 30. Mai-2. Juni 2017

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Low-cost fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes at a constant pitch
In: Microelectronic Engineering, Volume 170, 2017, Pages 34-38
DOI: 10.1016/J.MEE.2016.12.023

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
A fabrication process for nanopatterns shrinkage with variable sizes for large area
In: 2nd International Conference on Nanomaterials, Nanodevices, Fabrication and Characterization (ICNNFC'17), Barcelona, Spanien, 4.-6. April 2017
DOI: 10.11159/icnnfc17.129

Wedrich, Karin; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
Numerical model of a passive microsystem detecting and saving independent acceleration shocks
In: J. Phys.: Conf. Ser. 922 012008 (2017)
DOI: 10.1088/1742-6596/922/1/012008

Hoffmann, Martin; Krömker, Heidi; Huntemann, Nadja:
Wissensstrukturierung für das Lernen in den Ingenieurwissenschaften
In: Technische Bildung im Spannungsfeld zwischen beruflicher und akademischer Bildung (Tagungsband)
DOI: 10.22032/dbt.39253


2016

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja:
Anwendungsorientierte Fachlandkarten - Fallbeispiel Mikro-Nano-Integration
In: Anwendungsorientierung und Wissenschaftsorientierung in der Ingenieurbildung, IPW Ingenieur-Pädagogische Wissenschaftsgesellschaft (Tagungsband)

Müller, Jens; Hannapel, Thomas; Hoffmann, Martin; Jacobs, Heiko O.; Lei, Yong; Rangelow, Ivo W.; Schaaf, Peter:
Application of nanostructuring, nanomaterials and micro-nano-integration for improved components and system's performance
In: Pan Pacific Microelectronics Symposium 2016 (PAN PAC 2016) : Kohala Coast, Hawaii, USA, 25-28 January 2016. - Red Hook, NY : Curran Associates, Inc. . - 2016, pp. 13-22

Stegner, J.; Fischer, M.; Gropp, S.; Podoskin, D.; Stehr, U.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Hein, M.A.:
Compact low phase-noise mems-based RF oscillator on a dedicated silicon-ceramic composite substrate
In: European Microwave Week 2016: "Microwaves Everywhere", EuMW 2016 - Conference Proceedings; 46th European Microwave Conference, EuMC 2016
DOI: 10.1109/EuMC.2016.7824513

Silva Cortes, V.; Podoskin, D.; Stegner, J.; Fischer, M.; Gropp, S.; Hein, M.; Hoffmann, M.; Müller, J.; Weigel, R.; Fischer, G.; Hagelauer, A.:
Evaluation of a multiphysical RF MEMS oscillator based on LTE receiver performance requirements
In: 21st International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications, MIKON 2016
DOI: 10.1109/MIKON.2016.7492025

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Frank, A.; Schäffel, C.; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Fabrication of an RF-MEMS-switch on a hybrid Si-ceramic substrate
In: IMAPS/ACerS 12th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT), Denver, USA, 19.-21. April 2016

Stegner, J.; Stehr, U.; Podoskin, D.; Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Hein, M. A.:
Hybrid-integrated RF MEMS-based reference oscillator using a silicon-ceramic composite substrate
In: IEEE Xplore digital library. - New York, NY : IEEE. - 2016, S. 353-356; German Microwave Conference 2016 (GeMiC), Bochum, Deutschland, 14.-16. März 2016
DOI: 10.1109/GEMIC.2016.7461629

Fischer, Michael; Welker, Tilo; Leistritz, B.; Gropp, Sebastian; Schäffel, C.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
In: IMAPS/ACerS 12th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT), Denver, USA, 19.-21. April 2016

Müller, Lutz; Maier, Konrad; Helwig, Andreas; Hoffmann, Martin:
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren
In: 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2016, Duisburg, 05.-06. Oktober 2016

Weinberger, S.; Nguyen, T.T.; Lecomte, R.; Cheriguen, Y.; Ament, C.; Hoffmann, M.:
Linearized control of an uniaxial micromirror with electrostatic parallel-plate actuation
In: Microsystem Technologies 22, pages 441–447 (2016)
DOI: 10.1007/s00542-015-2535-2

Müller, L.; Hoffmann, M.; Maier, K.; Helwig, A.; Müller, G.:
Low temperature catalytic combustible hydrogen MEMS gas sensor enhanced by Si-Pt nanostructures
In: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshops 2016

Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure
In: Journal of Physics: Conference Series, Volume 757, Number 1
DOI: 10.1088/1742-6596/757/1/012023

Hoffmann, M.:
Micro-nano integration: Preface / Vorwort
In: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshops

Degenhardt, Sarah; Cheriguen, Yahia; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin:
Micro-Venturi injector: design, experimental and simulative examination
In: Journal of Physics: Conference Series, Volume 757, Number 1, 2016
DOI: 10.1088/1742-6596/757/1/012027

Lu, P.; Ohlckers, P.; Müller, L.; Leopold, S.; Hoffmann, M.; Grigoras, K.; Ahopelto, J.; Prunnila, M.; Chen, X.:
Nano fabricated silicon nanorod array with titanium nitride coating for on-chip supercapacitors
In: Electrochemistry Communications, Volume 70, pp. 51-55, 2016
DOI: 10.1016/j.elecom.2016.07.002

Hoffmann, Martin; Wedrich, Karin; Schmitt, Philipp; Mehner, Hannes; Jurisch, Reinhard:
Non-electrical sensing and storing: an alternative to electrical energy harvesting
In:  Procedia Engineering , Volume 168, pp. 1621-1625, 2016
DOI: 10.1016/j.proeng.2016.11.475

Mehner, H.; Müller, L.; Biermann, S.; Hänschke, F.; Hoffmann, M.:
Process flow for integration silicon grass with metallic nanostructures in surface micromachined systems
In: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshops 2016

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hänschke, Frank; Hoffmann, Martin:
Process flow to integrate nanostructures on silicon grass in surface micromachined systems
In: Journal of Physics: Conference Series, Volume 757, Number 1, 2016
DOI: 10.1088/1742-6596/757/1/012022

Bunge, Frank; Leopold, Steffen; Bohm, Sebastian; Hoffmann, Martin:
Scanning micromirror for large, quasi-static 2D-deflections based on electrostatic driven rotation of a hemisphere
In: Sensors and Actuators A: Physical 243 (2016), pp. 159-166
DOI: 10.1016/j.sna.2016.02.031

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Wetting behaviour of LTCC and glasses on nanostructured silicon surfaces during sintering
In: The 3rd International Conference & 5th International MacroNano-Colloquium on the Challenges and Perspectives
of Functional Nanostructures (CPFN), Ilmenau, Deutschland, 20.-22. Juni 2016

J. F. von Pock, D. Salloch, G. Qiao, U. Wieser, T. Hackbarth, and U. Kunze:
Quantization and anomalous structures in the conductance of Si/SiGe quantum point contacts
In: J. Appl. Phys. 119, 134306 (2016).
DOI: 10.1063/1.4945116

Fischer, Michael; Welker, Tilo; Leistritz, B.; Gropp, Sebastian; Schäffel, C.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
In: IMAPS/ACerS 12th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems
Technologies (CICMT), Denver, USA, 19.-21. April 2016

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Resonant three-dimensional electrostatic actuator in silicon technology
In: Proceedings 15th International Conference on New Actuators Bremen: Messe Bremen, 2016
ISBN 978-3-933339-26-3

Goj, Boris; Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Non-destructive material characterisation by oscillating microprobes
In: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), 19.-23. September 2016, Wien, Österreich

Hoffmann, Martin; Mehner, Hannes:
Energieautarke RFID-Sensoren – Messen & Speichern ohne elektrische Hilfsenergie
In: 8. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik - EAS 2016, Renningen, 25.-26. Februar 2016

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja:
Wissensstrukturierung für das Lernen in den Ingenieurwissenschaften
In: 11. Ingenieurpädagogische Regionaltagung 2016 - Technische Bildung im Spannungsfeld zwischen beruflicher und
akademischer Bildung, 23. - 25. Juni 2016, Hamburg

Mehner, Hannes; Weise, Christoph; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin:
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen
In: 8. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik - EAS 2016, Renningen, 25.-26. Februar 2016

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hänschke, Frank; Hoffmann, Martin:
Process flow to integrate nanostructures on silicon grass in surface micromachined systems
In: Proceedings of the 27th Micromechanics Europe Workshop, 28.-30. August 2016, Cork, Ireland

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hoffmann, Martin:
Prozesskette zur Integration Siliciumgras-basierter nanostrukturierter Flächen in Oberflächen-MEMS
In: 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2016, Duisburg, 05.-06. Oktober 2016

Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure
In: Proceedings of the 27th Micromechanics Europe Workshop, 28.-30. August 2016, Cork, Irland

Si, Shuhao; Hoffmann, Martin:
Consecutive imprinting performance of large area UV nanoimprint lithography using bi-layer soft stamps in
oxygen-containing atmosphere

In: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), 19.-23. September 2016, Wien, Österreich

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Low cost and large area fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes
In: 15th International Conference on Nanoimpirint & Nanoprint Technology (NNT), 26.-28. September 2016, Braga, Portugal

Silva Cortes, V.; Podoskin, D.; Stegner, J.; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Hein, M. A.; Müller, Jens, Hoffmann,
Martin; Weigel, R.; Fischer, G.; Hagelauer, A.:
Evaluation of a multiphysical RF MEMS oscillator based on LTE receiver performance requirements
In: International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications (MIKON), Krakow, Polen, 09.-11. Mai 2016

Stegner, J.; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Podoskin, D.; Stehr, U.; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, M. A.:
Compact low phase-noise MEMS-based RF oscillator on a dedicated silicon-ceramic composite substrate
In: European Microwave Conference 2016 (EuMC), London, England, 04.-06. Oktober 2016

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin:
Nicht-elektrischer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: 8. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik - EAS 2016, Renningen, 25.-26. Februar 2016

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Hoffmann, Martin:
A monolithic micro-optical interferometer etched into fused silica
In: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), 19.-23. September 2016, Wien, Österreich


2015

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
2-axis stepping microactuator with large displacement range for pinhole array positioning
Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
2D stepping drive for hyperspectral systems
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 25 (7)
DOI: 10.1088/0960-1317/25/7/074002

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
2D stepping microdrive for hyperspectral imaging
In: Proceedings SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems, 95170K; (20215)
DOI: 10.1117/12.2178867

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
A hybrid SiCer substrate based on direct glass-based bonding of LTCC and silicon
In: WaferBond'15, 07.-12. Dezember 2015, Braunschweig, Deutschland

Mehner, Hannes; Weise, C.; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin:
A passive microsystem for detecting multiple acceleration events beyond a threshold
In: Microelectronic Engineering, Volume 145, 1 September 2015, pp. 104-111
DOI: 10.1016/j.mee.2015.03.023

Weigel, C.; Schneider, M.; Hoffmann, M.; Kahl, S.; Jurisch, R.:
Autonomous oxygen sensor in packaging via fatty acids
Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Hillenbrand, Matthias; Weiss, Robert; Endrödy, Csaba; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan:
Chromatic confocal matrix sensor with actuated pinhole arrays
In: Applied Optics 54 (15), pp. 4927-4936
DOI: 10.1364/AO.54.004927

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Design and characterization of a resonant triaxial microprobe
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 25 (2015) 125011
DOI: 10.1088/0960-1317/25/12/125011

Weigel, C.; Grewe, A.; Hoffmann, M.:
Design and fabrication of a micro optical capnometry measurement cuvette
Design und Fertigung eines optofluidischen Messsystems zur kapnometrischen Überwachung

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Gropp, Sebastian; Frank, Astrid; Fischer, Michael; Schäffel, Christoph; Hoffmann, Martin:
Electrostatic parallel-plate MEMS switch on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015
DOI: 10.1109/GEMIC.2015.7107841

Gropp, S.; Fischer, M.; Hoffmann, M.:
Fabrication of a RF-MEMS-switch on a silicon-ceramic-composite substrate
Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin:
Linear micromechanical stepping drive for pinhole array positioning
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 25 (5), p. 55009
DOI: 10.1088/0960-1317/25/5/055009

Weigel, C.; Markweg, E.; Hoffmann, M.:
Monolithic integrated interferometer in fused silica
In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Podoskin, Dmitry; Brückner, Klemens; Nowak, Jacek; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Hein, Matthias A.:
Multi-technology design of an integrated MEMS-based RF oscillator using a novel silicon-ceramic compound substrate
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015
DOI: 10.1109/GEMIC.2015.7107839

Mehner, Hannes; Schwebke, Silvan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Passive microsensor for binary counting of numerous threshold events
In: Proc. SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems, 95170Z (2015)
DOI: 10.1117/12.2178726

Mehner, H.; Schwebke, S.; Leopold, S.; Hoffmann, M.:
Passive microsensor for binary counting of numerous threshold events
Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Mehner, H.; Weise, C.; Schwebke, S.; Hampl, S.; Hoffmann, M.:
Passive microsystem for integrating acceleration loads
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Capraro, Beate; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Radio frequency microelectromechanical system-platform based on silicon-ceramic composite substrates
In: Journal of Microelectronics and Electronic Packaging (2015) 12, pp. 37-42
DOI: 10.4071/imaps.442

Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin:
Self-aligning mold for hydrogel micro casting
In: Biomedizinische Technik. - Berlin [u.a.]: de Gruyter. - Bd. 60.2015, S1, p. S105
(DGBMT Jahrestagung; 49 (Lübeck): 2015.09.16-18)

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Schmitt, Jean; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Self-sufficient sensor for oxygen detection in packaging via radio-frequency identification
In: Journal of Sensors and Sensor Systems, Volume 4 (1), pp. 179-186, 2015
DOI: 10.5194/jsss-4-179-2015

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
The Technical Eye - Three-dimensional Scanning of the Object-Space
Das Technische Auge - Dreidimensionale Abtastung des Objektraums

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Fischer, Michael; Welker, Tilo; Gropp, Sebastian; Müller, Jens; Karolewski, D.; Schelestow, K.; Hoffmann, Martin:
Thermal behavior of SiCer - An innovative compound substrate for MEMS
Thermisches Verhalten von SiCer - ein innovatives Verbundsubstrat für MEMS

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Goj, B.; Dressler, L.; Hoffmann, M.:
Triaxial oscillating microprobe for coordinate measurement machines
Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik

In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
RF-MEMS-platform based on silicon-ceramic-composite-substrates
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015
DOI: 10.1109/GEMIC.2015.7107837

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Wetting behaviour of glasses on nanostructured silicon surfaces
In: Journal of Electrical Engineering Volume 3, Number 1, January 2015 (Serial Number 7)
DOI: 10.17265/2328-2223/2015.01.002

Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Lecomte, Roméo; Cheriguen, Yahia; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin:
Linearized control of an uniaxial micromirror with electrostatic parallel-plate actuation
In: Microsystem Technologies April 2015, Springer Berlin Heidelberg
DOI: 10.1007/s00542-015-2535-2

S. Pal, H. Nong, S. Markmann, N. Kukharczyk, S. R. Valentin, S. Scholz, A. Ludwig, C. Bock, U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Ultrawide electrical tuning of light matter interaction in a high electron mobility transistor structure
In: Scientific Reports 5, 16812 (2015).
DOI: 10.1038/srep16812

F. Jaehnike, D. V. Pham, R. Anselmann, C. Bock, U. Kunze:
High quality Solution-Processed Silicon Oxide Gate Dielectric applied on Indium Oxide based Thin-Film Transistors
In: ACS Appl. Mater. Interfaces 7, 14011-14017 (2015).
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S. Markmann, H. Nong, S. Pal, N. Hekmat, S. Scholz, N. Kukharchyk, A. Ludwig, S. Dhillon, J. Tignon, X. Marcadet, C. Bock,
U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Spectral modification of the laser emission of a terahertz quantum cascade laser induced by broad-band double
pulse injection seeding

In: Appl. Phys. Lett. 107, 111103 (2015).
DOI: 10.1063/1.4930993

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
RF-MEMS-Platform based on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Ein dreiachsiger, oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin:
Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Hoffmann, Martin; Mehner, Hannes; Weigel, Christoph:
Non-electrical long-term incident storage for wireless sensors
In: 41nd Micro and Nano Engineering (MNE), 21.-24. September 2015, Den Haag, Niederlande

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja:
Anwendungsorientierte Fachlandkarten: Fallbeispiel Mikro-Nano-Integration
In: 10. Ingenieurpädagogische Regionaltagung 2015 - Anwendungsorientierung und Wissenschaftsorientierung
in der Ingenieurbildung, 05.-07.11.2015, Eindhoven, Niederlande

Leopold, Steffen; Paetz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
The engineered eye - three-dimensional scanning of the object-space
In: Proceedings of the 26th Micromechanics Europe Workshop, 20.-23. September 2015, Toledo, Spanien

Mehner, Hannes; Schwekbe, Silvan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Micromechanical binary counter mechanism for storing off-limit conditions
In: Proceedings of the 26th Micromechanics Europe Workshop, 20.-23. September 2015, Toledo, Spanien

Mehner, Hannes; Weise, C.; Hoffmann, Martin; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan:
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Schwebke, Silvan; Hoffmann, Martin:
Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Müller, Lutz; Maier, Konrad; Helwig, Andreas; Müller, Gerhard; Hoffmann, Martin:
Low temperature catalytic combustible hydrogen MEMS gas sensor enhanced by Si-Pt nanostructures
In: 41nd Micro and Nano Engineering (MNE), 21.-24. September 2015, Den Haag, Niederlande

Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Autonomer RFID-Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: Thüringer Werkstofftag 2015, Weimar, 11. März 2015

Weigel, Christoph; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin:
Design und Fertigung eines optofluidischen Messsystems zur kapnometrischen Überwachung
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Hoffmann, Martin:
Monolithisch in Kieselglas integriertes Interferometer
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

S. Markmann, H. Nong, S. Pal, N. Hekmat, S. Scholz, N. Kukharchyk, A. Ludwig, S. Dhillon, J. Tignon, X. Marcadet,
C. Bock, U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Double pulse injection seeding of a Terahertz Quantum Cascade Laser
In: Proceedings of the 40th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Hongkong (2015).

S. Pal, H. Nong, S. Markmann, N. Kukharczyk, S. R. Valentin, S. Scholz, A. Ludwig, C. Bock, U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Strong coupling of intersubband resonance in a single triangular well to a THz matamaterial
In: Proceedings of the 40th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Hongkong (2015).


2014

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Semi-contact measurements of three-dimensional surfaces utilizing a resonant uniaxial microprobe
In: Measurement Science and Technology 25 (2014) 064012
DOI: 10.1088/0957-0233/25/6/064012

Müller, Lutz; Käpplinger, I.; Biermann, S.; Brode, Wolfgang; Hoffmann, Martin:
Infrared emitting nanostructures for highly efficient microhotplates
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 24 (2014) 035014
DOI: 10.1088/0960-1317/24/3/035014

Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin:
Quasi-static micromirror with enlarged deflection based on aluminum nitride thin film springs
In: Sensors and Actuators A: Physical 210 (0), 1. April 2014, pp. 165-174
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C. Weber, M. Oberberg, D. Weber, C. Bock, D. V. Pham, U. Kunze:
Improved morphology and performance of solution-processed metal-oxide thin-film transistors due to a
polymer based interface modifier

In: Adv. Mater. Interfaces 1400137 (2014).
DOI: 10.1002/admi.201400137

J. Stella, M. Pohl, C. Bock, U. Kunze:
Influence of grain orientation on the local deformation mode induced by cavitation erosion in a CuSnNi alloy
In: Waer 316, 1 (2014).
DOI: 10.1016/j.wear.2014.04.010

Cu-Nguyen, Phuong-Ha; Grewe, Adrian; Endrödy, Csaba; Sinzinger, Stefan; Zappe, Hans; Seifert, Andreas:
Compact tunable hyperspectral imaging system
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Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinziger, Stefan; Hoffmann, Martin:
Two-dimensional stepping drive for hyperspectral systems
In: Proceedings of the 25th Micromechanics Europe Workshop, August 31 - September 3, 2014, Istanbul, Turkey

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Capraro, Beate; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
RF-MEMS-Platform based on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
In: Proceedings IMAPS/ACerS 10th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems
Technologies (CICMT 2014), Suita, Japan, April 14 - 16, 2014

Goj, Boris; Bartsch, Heike; Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Temperatur- und Feuchtsensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen
In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl. - 2014, S. 127-130
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Grewe, Adrian; Endrödy, Csaba; Hillenbrand, Matthias; Cu-Nguyen, Phuong-Ha; Seifert, Andreas; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan:
Compact hyperchromatic imaging systems based on tunable optical microsystems
In: IEEE Xplore digital library. - New York, NY : IEEE (2014), S. 129 - 130 International Conference on Optical MEMS and
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ISSN : 2160-5033; Print ISBN: 978-0-9928-4140-9

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Wetting behaviour of LTCC and glasses on nanostructured silicon surfaces during sintering
In: Proceedings IMAPS/ACerS 10th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems
Technologies (CICMT 2014), Suita, Japan, April 14 - 16, 2014

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin:
Wettability of silicon nanostructures by glass melts
In: Proceedings of 40th Micro and Nano Engineering (MNE 2014), Lausanne Switzerland, 22. - 26.09.2014

Günschmann, Sabine; Müller, Lutz; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Selektive Erzeugung von Nanostrukturen auf einer Waferoberfläche zur Realisierung von optischen und mechanischen
Funktionen beim Aufbau eines Echtzeitölsensors

In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl.. - 2014, pp. 69-74
ISBN 978-3-8007-3632-4

Hampl, Stefan; Leistritz, Bianca; Saft, Benjamin; Hennig, Eckhard; Hoffmann, Martin:
Micromechanical, vertical comb-drive-structures for the construction of an electrostatic energy harvester
In: Proceedings EAS 2014 - 7. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik, Magdeburg, 24. - 25.02.2014, pp. 14 - 19
ISBN 978-3-8007-3581-7

Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin:
Test environment for hydrogels as functional sensor window
In: Proceedings BMT (Biomedizinische Technik) 2013 - Dreiländertagung der Deutschen, Schweizerischen und Österreichischen
Gesellschaft für Biomedizinische Technik, 19. - 21. September, Graz, pp. 693 - 694

Hanitsch, Stefan; Grohmann, S.; Berg, A.; Moje, J.; Hoffmann, Martin:
Method for testing of hydrogel sensor coatings
In: Proceedings BMT 2014, 48. Jahrestagung der DGMBT, Hannover ISSN 0013-5585, pp. S31 - S33

Hanitsch, Stefan; Hampl, Jörg; Fischer, R.; Tobola, J.; Stubenrauch, Mike; Schober, Andreas; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
Integration of hydrogels into BioMEMS
In: Shaping the future by engineering : 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau,
8 - 12 September 2014 ; programme. - Ilmenau : Univ.-Verl. Ilmenau. - 2014, p. 68

Hoffmann, Martin; Müller, Lutz; Käpplinger, Indira; Biermann, Steffen; Brode, Wolfgang:
Highly efficient IR-emitters based on oriented nanostructures on silicon templates
In: Proceedings of 40th Micro and Nano Engineering (MNE 2014), Lausanne Switzerland, 22. - 26.09.2014

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen
In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin :
VDE-Verl. - 2014, pp. 127-130
ISBN 978-3-8007-3632-4

Markweg, Eric; Hoffmann, Martin; Schädel, Martin; Ortlepp, Hans-Georg; Brodersen, Olaf:
A combined fibre coupling/readout diode chip for use in integrated optical interferometry
In: Tagungsband Smart Systems Integration 2014, Wien, Austria,
(USB stick, ISBN 978-3-86359-201-1)

Markweg, Eric ; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ortlepp, Hans Georg; Hoffmann, Martin; Mollenhauer, Olaf:
Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich
In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl. - 2014, pp. 107-111
ISBN 978-3-8007-3632-4

Mehner, Hannes; Weise, Christoph; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin:
A passive microsystem for integrating acceleration loads
In: Proceedings of 40th Micro and Nano Engineering (MNE 2014), Lausanne Switzerland, 22. - 26.09.2014

Mehner, Hannes; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin:
Linear stepping microactuator for hyperspectral systems
In: Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2014; International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics,
17-21 Aug. 2014, Glasgow, pp. 117 - 118 ISSN: 2160-5033; Print ISBN: 978-0-9928-4140-9

Müller, Lutz; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Hoffmann, Martin:
Funktionale Nanostrukturen für hocheffiziente Infrarotemitter in der Sensortechnik
In: Thüringer Werkstofftag 2014. - Jena

Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang:
Entwicklung und Optimierung mikrotechnischer Silizium- und Keramikkomponenten zur Realisierung eines Fluidiksensors
In: 17. ITG-/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2014, Nürnberg, Germany, 03. - 04. Juni 2014

Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Käpplinger, Indira; Biermann, Steffen; Brode, Wolfgang;
Hoffmann, Martin:
Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Beispiel eines IR-basierten Fluidsensors
In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl. - 2014, pp. 127-130
ISBN 978-3-8007-3632-4

Pätz, Daniel; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan:
Tunable anamorphotic imaging system based on fluidic cylindrical lenses
In: IEEE Xplore digital library. - New York, NY : IEEE. - 2014, pp. 25-26 International Conference on Optical MEMS and
Nanophotonics (OMN) ; (Glasgow) : 2014.08.17-21

Podoskin, Dmitry; Shaukat, Navel; Brückner, Klemens; Blau, Kurt; Mehner, Hannes; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; Hein,
Matthias A.:
RF oscillators based on piezoelectric aluminium nitride MEMS resonators
In: GeMiC 2014 / German Microwave Conference ; (Aachen) : 2014.03.10-12. - Berlin [u.a.] : VDE-Verl. (2014), insges. 4 S.

Saft, Benjamin; Schäfer, Eric; Jäger, André; Hampl, Stefan; Leistritz, Bianca; Hennig, Eckhard:
Eine Systemarchitektur für ein integriertes elektrostatisches MEMS-Energy-Harvesting-Modul
In: Proceedings ANALOG 2014 - 14. GMM/ITG-Fachtagung, Hannover, 17.-19.09.2014, pp. 60 - 65
ISBN 978-3-8007-3639-3

Stubenrauch, Mike; Hanitsch, Stefan; Fischer, Robert; Bartsch, Heike; Straube, Anja; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut:
BioMEMS for analysis and synthesis in life sciences
In: Biomedizinische Technik. - Berlin [u.a.] : de Gruyter. - Bd. 59.2014, Suppl. 1, p. S127 DGBMT Jahrestagung ; 48 (Hannover) : 2014.10.08-10

Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya; Goj, Boris; Machleidt, Torsten; Franke, Karl-Heinz; Hoffmann, Martin; Manske, Eberhard:
Multifunctional nanoanalytics and long-range scanning probe microscope using a nanopositioning and nanomeasuring machine
In: Measurement science and technology. - Bristol : IOP Publ. Ltd. - Bd. 25.2014, 4, p. 044006, insges. 7 S. NanoScale Seminar ;
(Paris) : 2013.04.25-26

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Niedrig-Energie-Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels RFID
In: 17. ITG-/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2014, Nürnberg, Germany, 03. - 04. Juni 2014

Integration of nanostructured silicon for improving IR-transmission of an optical measurement cuvette
In: 1st International Conference and 3rd International MacroNano-Colloquium on the Challenges and Perspectives of Functioal
Nanostructures (CPFN), Ilmenau, July 30, 2014/p>

Weigel, Christoph; Mehner, Hannes; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin:
Passive RFID-auslesbare Sensorik für Verpackungen
In: Workshop Funktionalisierte Verpackungen - Mehrwert beim Kunden erzeugen, Rudolstadt, Germany, 02. Dezember 2014


2013

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Resonant probing system comprising a high accurate uniaxial nanoprobe and a new evaluation unit
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 23 (2013) 095012
DOI: 10.1088/0960-1317/23/9/095012

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Resonant biaxial nanoprobe utilized for non-contact surface measurements
In: Sensors & Transducers Journal 157 (2013), no. 10, pp. 392-399   ISSN 1726-5479
Link

Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Paetz, Daniel; Knoebber, Fabian; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
MOEMS tunable microlens made of aluminum nitride membranes
In: J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 12(2), 023012 (Jun 10, 2013)
DOI: 10.1117/1.JMM.12.2.023012

Leopold, Steffen; Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin:
Online monitoring of the passivation breakthrough during deep reactive ion etching of silicon using optical plasma
emission spectroscopy

In: Journal of Micromechanics and Microengineering 23 (2013) 074001
DOI: 10.1088/0960-1317/23/7/074001

Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Variation of the intrinsic stress gradient in thin aluminum nitride films
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 23 (2013) 095030
DOI: 10.1088/0960-1317/23/9/095030

Dittrich, Lars; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin:
Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
ISBN 978-3-8007-3555-6

Geiling, Thomas; Dressler, Lothar; Welker, Tilo; Hoffmann, Martin:
Fine Dust Measurement with Electrical Fields - Concept of a Hybrid Particle Detector
In: Proceedings 9th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies,
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Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Non-contact biaxial nanoprobe utilized for surface measurements of MEMS
In: Proceedings TechConnect World 2013, Washington D.C.: CRC-Press, United States of America (2013)
ISBN: 978-1-4822-0579-4

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Non-contact measurements of three-dimensional surfaces utilizing a miniaturized uniaxial nanoprobe
In: Proceedings 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII),
Aachen: Apprimus Verlag, Germany (2013)
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Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
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In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem Stellweg
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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In: Proceedings of the 23rd Micromechanics Europe Workshop, Ilmenau, Germany (2012)
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Needlelike Nanostructures on Aluminum Nitride Membranes for Dynamic Lenses using Thermo-Capillarity
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Stress controlled piezoelectric AlN-MEMS-Resonators with molybdenum electrodes for GHz applications
In: Proceedings of the 23rd Micromechanics Europe Workshop, Ilmenau, Germany (2012)
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In: GMM-Fachbericht Band 74, 4. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, Berlin, 12.-13.11.2012
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In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dummstorff, Gerrit; Erbe, Torsten; Hoffmann, Martin:
Entwurf und Herstellung hybrider dreiachsiger Sensormodulkonzepte
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
ISBN 978-3-8007-3367-5

Hampl, Stefan; Cimalla, Volker; Polster, Tobias; Hoffmann, Martin:
AlN-based piezoelectric bimorph microgenerator utilizing low-level non-resonant excitation
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Hampl, Stefan; Laqua, D.; Heidrich, Nicola; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Polster, Tobias; Hoffmann, Martin:
AlN-basierte piezoelektrische Mikrogeneratoren zur Energieversorgung miniaturisierter Implantate
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
ISBN 978-3-8007-3367-5

Hoffmann, Martin; Bartsch, Heike; Fischer, Michael; Hampl, Stefan; Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Müller, Jens;
Polster, Tobias; Stubenrauch, Mike:
Mikro-Nano-Integration in der Sensorik - Nanostrukturen als neue Option
In: 10. Dresdner Sensor-Symposium, Dresden, 5.-7. Dezember 2011, Dresdner Beiträge zur Sensorik.
- Gerald Gerlach (Hrsg.), Band 43
ISBN 978-3-942710-53-4

Hoffmann, Martin; Kremin, Chris; Stubenrauch, Mike; Fröber, Ullrike; Polster, Tobias; Fischer, Michael; Bartsch de Torres,
Heike; Müller, Jens; Sinzinger, Stefan; Witte, Helmut:
Integration von nanostrukturierten Materialien in mikrofluidische Systeme: Perspektiven und Herausforderungen
In: Proceedings 7. Deutsches BioSensor Symposium, S. 25-26, Heilbad Heiligenstadt (2011)
ISBN 978-3-00-034073-4

Leopold, Steffen; Paetz, D.; Knöbber, F.; Polster, Tobias; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
Tunable refractive beams steering using aluminum nitride thermal actuators
In: Proc. SPIE 7931, 79310B, 2011

Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin:
Erzeugung nadelförmiger Nanostrukturen aus Aluminiumnitrid (AlN) durch reaktives Plasmaätzen
In: 3. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, März 2011
ISBN 9783800733347

Markweg, Eric; Nguyen, Tran Trung; Weinberger, Stefan; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin:
Development of a miniaturized multisensory positioning device for laser dicing technology
In: Physics Procedia Volume 12, Part 2, 2011, pp. 387-395 Lasers in Manufacturing 2011 - Proceedings of the
Sixth International WLT Conference on Lasers in Manufacturing

Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin:
Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
ISBN 978-3-8007-3367-5

Pätz, Daniel; Leopold, Steffen; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, M.; Knöbber, Fabian; Ambacher, Oliver:
Scannende Compound-Kamera zur hochauflösenden 3D-Objektabtastung
In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen
Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen / Jahrestagung.
Deutsche Gesellschaft für Angewandte Optik ; 112 (Ilmenau) : 2011.06.14-18. - Ilmenau, (2011), S. 102

Polster, Tobias; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Untersuchungen zur Nanoporosität von AlN Membranen
In: 3. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, März 2011, Stuttgart
ISBN 9783800733347

Polster, Tobias; Mehner, Hannes; Oeder, Andreas; Hoffmann Martin; Sinzinger, Stefan:
Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in eine Nanomessmaschine
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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Polster, Tobias; Leopold Steffen; Hoffmann, Martin:
Airborne particle generation for optical tweezers by thermo-mechanical membrane actuators
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Schneider, Mike; Hoffmann, Martin:
Non-electrical-power temperature-time integrating sensor for RFID based on microfluidics
In: Proc. SPIE 8066, 80661V (2011)

Weinberger, Stefan; Markweg, Eric; Nguyen, Tran Trung; Hoffmann, Martin; Ament, Christoph:
Positionserfassung von flexiblen Roboterarmen mit einem optischen Mikrotrackersystem
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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Batch-taugliche Fertigungsansätze für feinwerktechnische Systemkomponenten
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Fischer, Michael; Bartsch, Heike; Pawlowski, Beate; Barth, S.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
SiCer - ein innovativer Substratwerkstoff für MEMS
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Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Voges, Danja; Lehmann, Silvia V.; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut:
Miniaturisierte Evaluierungsumgebung für Zellen in 3-dimensionalen Scaffolds
5th Workshop „Microtechnology for Chemistry and Biology Laboratories“ , Elgersburg, Germany, February 2010

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Radially magnetized permanent magnets for miniaturized low power magnetic valves
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ISBN 9783800732166

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2. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, März 2010
ISBN 9783800732166

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Ansiedlung adhärenter Zellen in Bio-Mikrosystemen
5th Workshop „Microtechnology for Chemistry and Biology Laboratories“ , Elgersburg, Germany, February 2010

Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Kremin, Christoph; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin:
Statische und dynamische Prüfung von Silizium-Nano-Klettverschlüssen
2. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, März 2010

Weinberger, Stefan; Jakovlev, O.; Winkelmann, C. H.; Markweg, Eric; Hoffmann, Martin:
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2009

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Integration of scaffolds into bio-microsystems for experiments in tissue engineering
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ISBN 978-3-89838-616-6, CD-ROM

Hoffmann, Martin:
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In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2009, 12.-14. Oktober 2009 / Berlin, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
ISBN 978-3-8007-3183-1

Hoffmann, Martin; Wystup, Clemens:
Der Nanoklettverschluss als Verbindungselement in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2009, 12.-14. Oktober 2009 / Berlin, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
ISBN 978-3-8007-3183-1

Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin:
Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMS
In: GMM-Fachbericht Mikro-Nano-Integration/Beiträge des 1. GMM-Workshops, Seeheim, 12.-13. März 2009. - VDE Verlag GmbH Berlin
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Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Investigation of self-organized nanomasking in cyclic deep silicon etching fort the reproducible generation of
nanostructured silicon

Conference: Nanotech Europe 2009, 28-30 September Berlin, Germany Type: talk/presentation

Mache, Thomas; Jakob, Christine; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Herstellung von funktionsintegrierenden Galvanowerkstoffen mit maßgeschneiderten Eigenschaften für Mikrodirektantriebe
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2009, 12.-14. Oktober 2009 / Berlin, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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Aluminum nitride based 3D, piezoelectric, tactile sensor
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Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Te Boekhorst, Lena; Voges, Danja; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut:
How to connect 23 tubes to a 4x4 mm² microchip?
In: Proceedings 20th Micromechanics Europe Workshop, 20-22 September 2009, Toulose, France

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Reliability aspects of mechanical interlocking bond interfaces with nanostructured silicon grass
In: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS - DTIP 2009, Rome, 1-3 April 2009, pp. 167-169
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Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Lilienthal, Katharina; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
Fertigungsinnovation: Kletten statt Kleben
In: Kongressdokumentation „Innovative Oberflächen: Mehrwert - Nachhaltigkeit – Funktionalität“, 3. MATERIALICA Surface Kongress,
14.Oktober 2009, München, CD-ROM

Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
Klebe- und klemmfreies Anschlusskonzept für mikrofluidische Systeme mittels nanostrukturierter Oberflächen
In: GMM-Fachbericht Mikro-Nano-Integration/Beiträge des 1. GMM-Workshops, Seeheim, 12.-13. März 2009.
- VDE Verlag GmbH Berlin
ISSN 1432-3419; ISBN 978-3-8007-3155-8, CD-ROM

Stubenrauch, Mike; Schwandt, M.; Hecht, Siegmar; Kremin, Christoph; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin:
Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen
In: GMM-Fachbericht Mikro-Nano-Integration/Beiträge des 1. GMM-Workshops, Seeheim, 12.-13. März 2009.
- VDE Verlag GmbH Berlin
ISSN 1432-3419; ISBN 978-3-8007-3155-8, CD-ROM

Weinberger, Stefan; Lukman, D.; Hoffmann, Martin:
Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/ anorganischen Schichtsystemen
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2009, 12.-14. Oktober 2009 / Berlin, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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2008

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Biomikrosysteme zur Kultivierung von Indikatororganismen für Umwelt-Monitoring, Gefahrstoffdetektion und Zytodiagnostik
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Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Bley, Kornelia; Koch, Manfred; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut:
Bio-MEMS for water analytics
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Integrierter mikrofluidischer Chips aus SU-8 zur elektrischen und optischen Manipulation biologischer Proben
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Bio-MEMS for new methods in tissue engineering
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Voges, Danja; Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Schade, R.; Schilling, Cornelius; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
Konfigurierbare Bio-Mikrosysteme für die In-Vitro-Zellkultivierung
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2007

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ISBN 978-3-8007-3009-4

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Hoffmann, Martin; Meier, Petra; Lang, Michael:
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In: Smart Systems Integration 2007, Paris, March 27-28, 2007 / T. Gessner (Editor). - VDE Verlag, pp. 557-559
ISBN 978-3-8007-3009-4

Kallenbach, Matthias; Bartsch de Torres, Heike; Hintz, Michael; Hoffmann, Martin:
High-inductive small-size microcoils with high ampacity
In: Smart Systems Integration 2007, Paris, March 27-28, 2007 / T. Gessner (Editor). - VDE Verlag, pp. 505-507
ISBN 978-3-8007-3009-4

Polster, Tobias; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin:
Aluminiumnitrid als piezoelektrisches Material für MEMS
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2007, 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings. - VDE Verlag, pp. 553-556
ISBN 978-3-8007-3061-2

Polster, Tobias; Hoffmann, Martin; Albrecht, Arne; Tonisch, Katja; Ambacher, Oliver; Stauden, Thomas;
Donahue, Mary; Michael, Steffen:
AlN as a piezoelectric material for integrated micro and nano sensors on silicon
In: Smart Systems Integration 2007, Paris, March 27-28, 2007 / T. Gessner (Editor). - VDE Verlag, pp. 249-255
ISBN 978-3-8007-3009-4

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin:
Black Silicon as a smart structure for the bonding of polymers with silicon
In: Smart Systems Integration 2007, Paris, March 27-28, 2007 / T. Gessner (Editor). - VDE Verlag, pp. 161-166
ISBN 978-3-8007-3009-4

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Lilienthal, Katharina; Fröber, Ulrike; Voges, Danja;
Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
´Black Silicon´ - einstellbare Nanostrukturen mit neuen Applikationsfeldern
In: Tagungsband 3. Thüringer Grenz- und Oberflächentage und 6. Thüringer Biomaterial-Kolloquium 2007,
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ISBN 978-3-00-021859-0

Tonisch, Katja; Weise, Frank; Stubenrauch, Mike; Cimalla, Volker; Ecke, Gernot; Will, Florentina; Romanus, Henry; Mrotzek,
Susanne; Hofmeister, Herbert; Hoffmann, Martin; Hülsenberg, Dagmar; Ambacher, Oliver:
Growth of silicon nanowires on UV-structurable glass using self-organized nucleation centres
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