Forschung

Der Lehr­stuhl für Mikrosystemtechnik verfolgt derzeit vier Schwerpunkte, die sich insbesondere in der Technologie-Basis weitgehend überschneiden. Dazu steht ein eigener Reinraum zur Verfügung, der 2010 gebaut und 2017 - 2019 wegen erheblicher baulicher Mängel grundlegend überarbeitet und für die Bearbeitung von Wafern bis 200 mm ertüchtigt wurde. Darüber hinaus werden Geräte im Zentrum für Grenzflächen-dominierte Höchstleistungswerkstoffe betreut und genutzt, insbesondere die dort vorhandenen Anlagen zum Plasma-basierten Ätzen, und es besteht eine aktive Kooperation mit dem IMN MacroNano® und ZMN der TU Ilmenau.

"Phantasie ist wichtiger als Wissen, denn Wissen ist begrenzt. Phantasie aber umfasst die ganze Welt."
Albert Einstein
                                                                                                                                                                                        

Projekte

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Veröffentlichungen

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Kooperationen

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Ausstattung

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im ID-Gebäude, der 2020 fertig gestellt wurde. 

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