Mikrosystemtechnik

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet und befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS), von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum.
Forschungsschwerpunkte sind neue Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische Anwendungsfelder.

Lehre an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (© Adobe Stock)

Publikationen der Lehrstühle (© Adobe Stock)

Video "Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik an der RUB"

Aktuelle Meldungen

Neugier wecken: Kinderbuch über Elektrotechnik

Ein neues Kinderbuch aus der VDE-Impulsbuchreihe vermittelt die Welt der Elektrotechnik auf anschauliche Weise. Entstanden ist es in Zusammenarbeit mit dem Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik.

Fakultätskolloquium: Vorträge von Prof. Dr. Clara Saraceno und Dr. Lisa Schmitt

Beim Fakultätskolloquium am 10. Juni 2026 begrüßte Geschäftsführerin Dr. Corinna Heldt die Teilnehmenden zu zwei spannenden Vorträgen mit aktuellen Forschungsthemen aus den Bereichen Photonics and Ultrafast Laser Science und Mikrosystemtechnik.

Erneute Auszeichnung für Start-Up MechIC auf der Transferkonferenz iCCC2026

Auszeichnung auf der iCCC20226: Best Poster Philip Schmidt – für eine klare, visuell starke und wissenschaftlich präzise Darstellung

Kompetenzatlas zur Mikroelektronik-Forschung an deutschen Hochschulen

Unternehmen und Forschungseinrichtungen können ohne Registrierung auf der neuen Online-Plattform nach Expertise, Geräten oder Räumen suchen. Mit dem Start des ForLab-Kompetenzatlas wurde ein zentraler Meilenstein im Projekt Forlab-Natalie erreicht.

05.03.2026 - 06.03.2026

Fachtagung „Mikroelektronik-Forschung in Deutschland: von den Grundlagen zur Anwendung“

Der ForLab-Verbund lädt herzlich zur Ausgabe 2026 der Fachtagung „Mikroelektronik-Forschung in Deutschland: von den Grundlagen zur Anwendung“ ein.

Prof. Martin Hoffmann ist neuer Vorstandsvorsitzender der VDE VDI GMM

Die Mitglieder der VDE/VDI Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (VDE VDI GMM) haben einen neuen Vorstand gewählt. Prof. Martin Hoffmann führt in den kommenden Jahren die Fachgesellschaft.