Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik

Der Lehr­stuhl für Mikrosystemtechnik wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet und befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS), von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum. Forschungsschwerpunkte sind neue ­Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische ­Anwendungsfelder.
 

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Postanschrift

Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum
Fa­kul­tät für Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Postfach ID 7
Uni­ver­si­täts­stra­ße 150
D-44801 Bo­chum

Kontaktdaten

Se­kre­ta­ri­at   
Raum: ID 05/441
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 22183 
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14166    
E-Mail: sekretariat-mst@​rub.​de        
La­ge­plan & An­rei­se­infor­ma­tio­nen der RUB                                                                            

Lehrstuhlinhaber

Prof. Dr.-Ing. Mar­tin Hoff­mann 
Raum: ID 05/439 
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 27700
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14166
E-Mail: martin.​hoffmann-mst@​rub.​de
 

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