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    M. Sc. Anton Pletzer
    Verbesserung der Filmqualitätvon PEALD gewachsenen MoS2-Schichten durch maßgeschneiderte Plasmaätzprozesse
    03/2025

    B. Sc. Yunis El-Hajjar
    Einfluss von Oberflächenbehandlungen auf das initiale Schichtwachstum von Molybdändisulfid auf Glas
    03/2025

    B. Sc. Kai Christian Hoeland
    Atomlagenätzung von Molybdändisulfid für die 2D-Elektronik
    07/2024

    M. Sc. Jannis Van der Herten
    MEMS-abstimmbare hochgüte-Resonatoren für den THz Bereich
    03/2024

    M. Sc. Astrid Lando Tchinda
    Untersuchung und Validierung von dielektrischen Spalt-Wellenleitern als THz-Sensoren
    11/2023

    B. Sc. Marvin Krüner
    Konzepte zur Reduktion des MoS2-Kontaktwiderstandes basierend auf großflächig gewachsenen PEALD-Filmen
    07/2023

    M. Sc. Mahmmd Daadwch
    Design und Charakterisierung von elektrostatischen Repulsive-Force Aktoren (RFA)
    07/2023

    B. Sc. Ince-Kocak Ümran
    Entwicklung und Charakterisierung reaktiver Multischichtsysteme zur Aufbau- und Verbindungstechnik in der Mikrosystemtechnik
    06/2023

    M. Sc. Juanita Fernández Ortega
    Design of micromechanical mechanisms for the measurement and compensation of thermal induced stress in passive strain sensors
    04/2023

    M. Sc. Nils Schmitt
    Einfluss von Oberflächenbehandlungen auf die elektrischen und topographischen Eigenschaften von ALD-abgeschiedenen MoS2-Schichten
    04/2023

    M. Sc. Melvin Jondral
    Entwicklung von Tiefenätzprozessen in technischen Gläsern
    03/2023

    B. Sc. Anton Pletzer
    Präparation und Evaluation eines pH-Sensors auf Basis von großflächig gewachsenem Molybdändisulfid
    10/2022

    M. Sc. Nils Gerke
    Dielectric engineering von 2D Transistoren
    10/2022

    B. Sc. Raouf Abumufreh
    Auswertekonzept für ein mikrotechnisches Sensor-Aktor-System
    10/2022

    M. Sc. Jan Kother
    Untersuchung und Validierung silizium-basierter THz Wellenleiter
    09/2022

    M. Sc. Lennart Becke
    Entwurf und Evaluation eines Maskensatzes für Transistorstrukturen auf Basis von 2D Materialien
    03/2022

    B. Sc. Maira Buschheuer
    Untersuchung der viskoelastischen Eigenschaften thermoplastischer Polymere
    09/2021

    M. Sc. Marius Hillebrand
    Ent­wurf und Rea­li­sie­rung eines ro­ta­to­ri­schen Mi­kro­ak­tor­sys­tems
    04/2021

    B. Sc. Andrii Berdnykov 
    Si­mu­la­ti­on einer Flüs­sig­la­ge­rung für ein elek­tro­sta­ti­sches Ak­tor­sys­tem
    04/2021

    B. Sc. Henning Mays
    Ent­wick­lung eines Ätz­pro­zes­ses für Wolf­ram­di­sul­fid-Schich­ten zur Her­stel­lung von fle­xi­blen Dünn­film­tran­sis­to­ren
    04/2021

    M. Sc. Nick Tsivin
    Un­ter­su­chung der tri­bo­lo­gi­schen Ei­gen­schaf­ten tief­ge­ät­zer Si­li­ci­um­struk­tu­ren für rei­bungs­ba­sier­te Mi­kro­sys­te­me
    03/2021

    M. Sc. Karl Philipp Sebastian Löhler
    Cha­rak­te­ri­sie­rung und Op­ti­mie­rung eines Kon­stant-Kraft Mi­kro­sys­tems zur Ana­ly­se und Sti­mu­la­ti­on von Zel­len
    03/2021

    B. Sc. Nils Oliver Schmitt
    Ent­wick­lung und Cha­rak­te­ri­sie­rung von MEMS-Re­lais zur suk­zes­si­ven An­steue­rung elek­tro­sta­ti­scher Ak­to­ren
    09/2020

    B. Sc. Nils Gerke
    Auf dem Weg zur fle­xi­blen 2D-Elek­tro­nik: Sub­strat­aus­wahl, Grenz­flä­chen­mo­di­fi­ka­ti­on und Cha­rak­te­ri­sie­rung
    02/2020

    B. Sc. Melvin Jondral
    Cha­rak­te­ri­sie­rung und An­steue­rung eines Kon­stant-Kraft-Mi­kro­sys­tems auf Basis elek­tro­sta­ti­scher Wand­ler
    11/2019

    M. Sc. Mike Richter
    Ent­wick­lung, Fer­ti­gung und Cha­rak­te­ri­sie­rung einer RFID-ba­sier­ten mo­du­la­ren Mess­plat­form zur An­bin­dung en­er­gie­aut­ar­ker Sen­so­ren
    10/2019

    B. Sc. Maurice Nachtigall
    Ein­fluss einer n-Do­tie­rung auf die Leit­fä­hig­keit von Me­tal­loxid-Dünn­film­tran­sis­to­ren
    09/2019

    M. Sc. Thomas Berning
    Dünn­film­tran­si­to­ren mit Gra­phen-Elek­tro­den ba­sie­rend auf in­no­va­ti­ven 2D-Halb­lei­ter­ma­te­ria­li­en
    03/2019

    B. Sc. Aleix Carbonell Gual
    De­ve­lop­ment of an au­to­ma­ted ma­crosco­pic me­a­su­re­ment setup for ten­si­le tes­ting of new me­cha­ni­cal ma­te­ri­als for MEMS ap­p­li­ca­ti­ons
    09/2018

    B. Sc. Nick Tsivin
    Auf­bau, In­be­trieb­nah­me und Cha­rak­te­ri­sie­rung eines Mess­stan­des zur hoch­sen­si­ti­ven Be­stim­mung von mi­kro­sy­tem­tech­nisch um­ge­setz­ten Fe­der- und Kraft­mess­sys­te­men
    09/2018

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    Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
    Mikrosystemtechnik
    Gebäude ID, Post­fach 7

    Universitätsstraße 150
    44801 Bochum

    Kontakt
    ID 05/441
    (+49)(0)234 / 32 - 22183
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