Ausstattung

Unsere Reinräume


"Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektroniksysteme“ - ForLab Bochum

Das „Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektroniksysteme“ - ForLab Bochum umfasst im Wesentlichen den Reinraum des Lehrstuhls für Mikrosystemtechnik (Gebäude ID, Ebene 05) der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Ruhr-Universität Bochum (RUB) und stellt wesentliche Basistechnologien der Mikrosystemtechnik und der 2D-Halbleitertechnologie auf Substraten bis 200 mm Durchmesser zur Verfügung.

Downloadlink zur Nutzungsordnung (pdf-Datei):
Nutzungsordnung des Gerätezentrums "Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektroniksysteme" - ForLab Bochum


Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen.
Dazu gehören unter anderem:

Mask-Aligner
Heizplatten
Oxidationsöfen
Plasmaverascher
Lackschleuder
Laserlithografiesystem (Strukturbreiten > 600 nm)
Rasterelektronenmikroskop / Elektronenstrahllithografiesystem
Inertgasglovebox mit Lackschleuder und Ozone Cleaner
Plasmaätzanlage (ICP-RIE)    
Aufdampfanlagen
Wafersägen
Plasmabeschichtungsanlage (ICPECVD)
Temperanlagen
Ritzgerät

Präparationsbegleitend werden die Bauelemente und Systeme mit folgenden Geräten charakterisiert:

  •   optische Mikroskope
  •   Ellipsometer
  •   Interferenzmikroskop
  •   Konfokalmikroskop
  •   Rastersondenmikroskope (AFM, MFM)
     

Für magnetfeldabhängige und temperaturabhängige Messungen stehen mehrere Kryostate (Temperaturbereich: 300 mK bis 500 K) und Elektromagnete und supraleitende Magnete (bis 17 T) zur Verfügung. Die elektrische Charakterisierung erfolgt mittels Semiconductor Parameter Analyzern, Lock-In Technik (bis f = 200 MHz) und Kapazitäts-Spannungs-Messgeräten.

Postanschrift

Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum
Fa­kul­tät für Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Postfach ID 7
Uni­ver­si­täts­stra­ße 150
D-44801 Bo­chum

Kontaktdaten

Se­kre­ta­ri­at   
Raum: ID 05/441
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 22183 
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14166    
E-Mail: sekretariat-mst(at)​ruhr-uni-bochum.​de        
La­ge­plan & An­rei­se­infor­ma­tio­nen der RUB                                                                            

Lehrstuhlinhaber

Prof. Dr.-Ing. Mar­tin Hoff­mann 
Raum: ID 05/439 
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 27700
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14166
E-Mail: martin.​hoffmann-mst(at)​ruhr-uni-bochum.de
 

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