"Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektroniksysteme“ - ForLab Bochum
Das „Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektroniksysteme“ - ForLab Bochum umfasst im Wesentlichen den Reinraum des Lehrstuhls für Mikrosystemtechnik (Gebäude ID, Ebene 05) der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Ruhr-Universität Bochum (RUB) und stellt wesentliche Basistechnologien der Mikrosystemtechnik und der 2D-Halbleitertechnologie auf Substraten bis 200 mm Durchmesser zur Verfügung.
Downloadlink zur Nutzungsordnung (pdf-Datei):
Nutzungsordnung des Gerätezentrums "Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D Elektroniksysteme" - ForLab Bochum
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen.
Dazu gehören unter anderem:
Mask-Aligner |
Heizplatten |
Oxidationsöfen |
Plasmaverascher |
Lackschleuder |
Laserlithografiesystem (Strukturbreiten > 600 nm) |
Rasterelektronenmikroskop / Elektronenstrahllithografiesystem |
Inertgasglovebox mit Lackschleuder und Ozone Cleaner |
Plasmaätzanlage (ICP-RIE) |
Aufdampfanlagen |
Wafersägen |
Plasmabeschichtungsanlage (ICPECVD) |
Temperanlagen |
Ritzgerät |
Präparationsbegleitend werden die Bauelemente und Systeme mit folgenden Geräten charakterisiert:
Für magnetfeldabhängige und temperaturabhängige Messungen stehen mehrere Kryostate (Temperaturbereich: 300 mK bis 500 K) und Elektromagnete und supraleitende Magnete (bis 17 T) zur Verfügung. Die elektrische Charakterisierung erfolgt mittels Semiconductor Parameter Analyzern, Lock-In Technik (bis f = 200 MHz) und Kapazitäts-Spannungs-Messgeräten.
Ruhr-Universität Bochum
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