Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen.
Dazu gehören unter anderem:

Präparationsbegleitend werden die Bauelemente und Systeme mit folgenden Geräten charakterisiert:

•   optische Mikroskope
•   Ellipsometer
•   Interferenzmikroskop
•   Konfokalmikroskop
•   Rastersondenmikroskope (AFM, MFM)
   

Für magnetfeldabhängige und temperaturabhängige Messungen stehen mehrere Kryostate (Temperaturbereich: 300 mK bis 500 K) und Elektromagnete und supraleitende Magnete (bis 17 T) zur Verfügung. Die elektrische Charakterisierung erfolgt mittels Semiconductor Parameter Analyzern, Lock-In Technik (bis f = 200 MHz) und Kapazitäts-Spannungs-Messgeräten.