Der Lehr­stuhl Mi­kro­sys­tem­tech­nik bie­tet Ab­schluss­ar­bei­ten (Pro­jekt-, Ba­che­lor– oder Mas­ter­ar­bei­ten) in­ner­halb in­di­vi­du­el­ler For­schungs­schwer­punk­te an.

Lehr­stuhl­in­ha­ber: Prof. Dr.-Ing. Mar­tin Hoff­mann, ID 05/439, martin.​hoffmann-mst(at)​rub.​de

For­schungs­schwer­punk­te:

Praxis-Projekte und Bachelor- und Master-Arbeiten können jederzeit bei Vorliegen der Voraussetzungen begonnen werden.

Es besteht die Möglichkeit, in Forschungsprojekten abgegrenzte eigenständige Themen zu bearbeiten, die von der Simulation und dem Entwurf von Systemen bis zu deren Realisierung im Reinraum reichen.

Fragestellungen betreffen vor allem innovative Anwendungen auf aktuellen Feldern der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik, deren Simulation, Entwurf und Herstellung, Aufbau und Programmierung automatisierter Messplätze sowie die Charakterisierung von Bauelementen und Systemen. Entsprechend der interdisziplinären Natur der Mikrosystemtechnik sind die Themenschwerpunkte der Arbeiten für Studierende der Ingenieurwissenschaften (Elektrotechnik und Maschinenbau) ebenso geeignet wie für solche der Naturwissenschaften, insbesondere der Chemie und der Physik.

Die notwendige Einarbeitung wird bei der Aufgabenstellung berücksichtigt, so dass ein Abschluss der Arbeit innerhalb der vorgegebenen Fristen möglich ist; die Anmeldung erfolgt zeitnah bei Beginn der Arbeiten am Lehrstuhl. Ein Abschluss der Arbeit innerhalb des Semesters wird bei rechtzeitigem Start zugesichert.
Die Betreuung erfolgt im Labor in der Regel durch wissenschaftlichen Mitarbeiter(inn)en, bei inhaltlichen und organisatorischen Fragen sowie bei der Interpretation der Messresultate stehen auch Dr.-Ing. Claudia Bock, Dr.-Ing. Ulrich Wieser und Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann zur Verfügung.

Bei In­ter­es­se an den folgenden Themenbereichen wen­den Sie sich bitte an die an­ge­ge­be­nen wis­sen­schaft­li­chen Mit­ar­bei­ter(innen).

• 2D-Elek­tro­nik
• Low-cost Elek­tro­nik
• Mo­der­ne Halb­lei­ter­ma­te­ria­li­en

An­sprech­part­ner: Dr.-Ing. Clau­dia Bock, claudia.​bock(at)​rub.​de

• ALD Prozessentwicklung und die Integration derer in funktionale Bauelemente

An­sprech­part­ner: Dr.-Ing. Clau­dia Bock, claudia.​bock(at)​rub.​de; M. Sc. Leander Willeke, leander.willeke(at)rub.de

• Flexible Dünnfilmtransistoren auf Basis von 2D Materialien

Ansprechpartner:  Dr.-Ing. Claudia Bock, claudia.​bock(at)​rub.​de; M. Sc. Leander Willeke, leander.willeke(at)rub.de

• Erforschung flexibler pH Sensorsysteme auf Basis von 2D Materialien

Ansprechpartner:  M. Sc. Julia Jagosz, julia.jagosz(at)rub.de;  Dr.-Ing. Claudia Bock, claudia.​bock(at)​rub.​de

• Passive Sensoren in der Mikrosystemtechnik
• Oberflächenmikromechanik

Ansprechpartner: Dr.-Ing. Claudia Bock, claudia.​bock(at)​rub.​de

• Pas­si­ve Sen­so­rik
• Ober­flä­chen­mi­kro­me­cha­nik

An­sprech­part­ner: Dr.-Ing. Phi­lip Schmitt, philip.​schmitt(at)​rub.​de

• Mikroaktorik

Ansprechpartner:  Dr.-Ing. Lisa Schmitt, lisa.schmitt-mst(at)rub.de;  M. Sc. Marius Hillebrand, marius.hillebrand(at)rub.de; 
M. Sc. Preethi Basrur, preethi.basrur(at)rub.de

• Mikrosystemtechnik für THz-Anwendungen

Ansprechpartner:  Dr.-Ing. Lisa Schmitt, lisa.schmitt-mst(at)rub.de;  M. Sc. Marcel Burfeindt, marcel.burfeindt(at)rub.de