Plasmen finden vielfache Anwendungen in Forschung und Industrie. Zur Beschichtung oder Modifizierung von Oberflächen werden Sie bei der Herstellung von Mikrosystemen, in der Halbleitertechnologie, zur Lab-on-Chip Produktion sowie in vielen anderen Bereichen eingesetzt. Ein wichtiger Aspekt für die unterschiedlichen Herstellungsprozesse ist die Reproduzierbarkeit des Prozessablaufes mit wünschenswerter in-situ Kontrolle. Im Projekt ‘PluTO‘, welches ebenso durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung gefördert wurde, konnte die Multipolresonanzsonde zur Bestimmung der Plasmadichte entwickelt werden. Das Ziel des BMBF-Nachfolgeprojektes ‘PluTO+‘ ist die Optimierung der Multipolresonazsonde für den Produktionsalltag sowie die Weiterentwicklung und Miniaturisierung des Messsystems.
Projektlaufzeit: 2014 - 2018
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