Pluto+ - Plasma und optische Technologien: Erhöhung der Qualität und Ausbeute optischer Beschichtungstechnologien

Plas­men fin­den viel­fa­che An­wen­dun­gen in For­schung und In­dus­trie. Zur Be­schich­tung oder Mo­di­fi­zie­rung von Ober­flä­chen wer­den Sie bei der Her­stel­lung von Mi­kro­sys­te­men, in der Halb­lei­ter­tech­no­lo­gie, zur Lab-on-Chip Pro­duk­ti­on sowie in vie­len an­de­ren Be­rei­chen ein­ge­setzt. Ein wich­ti­ger As­pekt für die un­ter­schied­li­chen Her­stel­lungs­pro­zes­se ist die Re­pro­du­zier­bar­keit des Pro­zessab­lau­fes mit wün­schens­wer­ter in-si­tu Kon­trol­le. Im Pro­jekt ‘PluTO‘, wel­ches eben­so durch das Bun­des­mi­nis­te­ri­um für Bil­dung und For­schung ge­för­dert wurde, konn­te die Mul­ti­pol­re­so­nanz­son­de zur Be­stim­mung der Plas­ma­dich­te ent­wi­ckelt wer­den. Das Ziel des BMBF-Nach­fol­ge­pro­jek­tes ‘PluTO+‘ ist die Op­ti­mie­rung der Mul­ti­pol­re­so­naz­son­de für den Pro­duk­ti­ons­all­tag sowie die Wei­ter­ent­wick­lung und Mi­ni­a­tu­ri­sie­rung des Mess­sys­tems.

Pro­jekt­lauf­zeit: 2014 - 2018

Postanschrift

Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum
Fa­kul­tät für Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik
Lehrstuhl für Hochfrequenzsysteme
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Uni­ver­si­täts­stra­ße 150
D-44801 Bo­chum

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Lehrstuhlinhaber

Prof. Dr.-Ing. Ilona Rolfes 
Raum: ID 04/335 
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 27383
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14167
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