PLUTO - Plasma und optische Technologien

Pro­zess­plas­men haben sich als un­ver­zicht­ba­res Hilfs­mit­tel für die Her­stel­lung funk­tio­na­ler Schicht­sys­te­me und struk­tur­mo­di­fi­zier­ter op­ti­scher Ober­flä­chen er­wie­sen. Unter an­de­rem fin­den Plas­men viel­fa­che An­wen­dung in der Halb­lei­ter­tech­no­lo­gie, der Werk­stoff­tech­no­lo­gie, sowie im Be­reich der Me­di­zin. Die Ent­wick­lung und Op­ti­mie­rung der ver­wen­de­ten Pro­zes­se wird je­doch bis­her weit­ge­hend durch em­pi­ri­sche An­sät­ze be­stimmt, wobei es an de­tail­lier­tem Ver­ständ­nis der phy­si­ka­li­schen und che­mi­schen Wech­sel­wir­kungs­me­cha­nis­men man­gelt. Das Ziel des vom BMBF ge­för­der­ten Pro­jek­tes PluTO ist es daher, diese bei­den Be­rei­che zu­sam­men­zu­füh­ren. Die ver­füg­ba­ren Pro­zess­plas­men sol­len mit­hil­fe spe­zi­el­ler Son­den ein­ge­hend qua­li­fi­ziert wer­den, wobei die er­mit­tel­ten Daten die Grund­la­ge für eine nu­me­ri­sche Mo­del­lie­rung bil­den. Diese wird ih­rer­seits in einem ite­ra­ti­ven Pro­zess ex­pe­ri­men­tell ve­ri­fi­ziert, damit letzt­end­lich zwei Säu­len der Pro­zess­ge­stal­tung zur Ver­fü­gung ste­hen. Somit wären ei­ner­seits die fun­da­men­ta­len Wir­kungs­zu­sam­men­hän­ge iden­ti­fi­ziert, an­de­rer­seits könn­ten ge­eig­ne­te Mo­ni­to­rie­rungs­werk­zeu­ge zur Pro­zess­über­wa­chung ein­ge­setzt wer­den.

Pro­jekt­lauf­zeit: 2009 - 2014

Postanschrift

Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum
Fa­kul­tät für Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik
Lehrstuhl für Hochfrequenzsysteme
Postfach ID 28
Uni­ver­si­täts­stra­ße 150
D-44801 Bo­chum

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Lageplan &  Anreise RUB                                                   

Lehrstuhlinhaber

Prof. Dr.-Ing. Ilona Rolfes 
Raum: ID 04/335 
Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 27383
Fax: (+49) (0) 234 32 - 14167
E-Mail: ilona.rolfes[at]rub.de