Prozessplasmen haben sich als unverzichtbares Hilfsmittel für die Herstellung funktionaler Schichtsysteme und strukturmodifizierter optischer Oberflächen erwiesen. Unter anderem finden Plasmen vielfache Anwendung in der Halbleitertechnologie, der Werkstofftechnologie, sowie im Bereich der Medizin. Die Entwicklung und Optimierung der verwendeten Prozesse wird jedoch bisher weitgehend durch empirische Ansätze bestimmt, wobei es an detailliertem Verständnis der physikalischen und chemischen Wechselwirkungsmechanismen mangelt. Das Ziel des vom BMBF geförderten Projektes PluTO ist es daher, diese beiden Bereiche zusammenzuführen. Die verfügbaren Prozessplasmen sollen mithilfe spezieller Sonden eingehend qualifiziert werden, wobei die ermittelten Daten die Grundlage für eine numerische Modellierung bilden. Diese wird ihrerseits in einem iterativen Prozess experimentell verifiziert, damit letztendlich zwei Säulen der Prozessgestaltung zur Verfügung stehen. Somit wären einerseits die fundamentalen Wirkungszusammenhänge identifiziert, andererseits könnten geeignete Monitorierungswerkzeuge zur Prozessüberwachung eingesetzt werden.
Projektlaufzeit: 2009 - 2014
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