Forschungsbereiche

MO­DEL­LIE­RUNG UND SI­MU­LA­TI­ON TECH­NI­SCHER PLAS­MEN

Ohne Plas­men gäbe es keine Pen­ti­um-Pro­zes­so­ren – und auch keine Play­s­ta­ti­on. Die Plas­ma­tech­nik be­fasst sich mit der Er­for­schung und tech­ni­schen An­wen­dung des Plas­mas, des ak­tivs­ten und en­er­gie­reichs­ten Zu­stands der Ma­te­rie. Der „vier­te Zu­stand“ bil­det die Grund­la­ge einer Viel­zahl ra­sant wach­sen­der High-Tech-Ge­bie­te, von der Ober­flä­chen­tech­nik und op­ti­schen Tech­no­lo­gi­en bis hin zur Leucht­mit­tel­in­dus­trie und zur Bio­me­di­zin­tech­nik. 

Der Lehr­stuhl für Theo­re­ti­sche Elek­tro­tech­nik forscht auf die­sem fas­zi­nie­ren­den Ge­biet mit den Mit­teln der Mo­del­lie­rung und Si­mu­la­ti­on. Un­se­re Schwer­punk­te sind Grund­la­gen auf­zu­klä­ren und neue An­wen­dun­gen auf den Weg zu brin­gen. So wur­den unter an­de­rem ein neu­ar­ti­ges Ver­fah­ren zur Be­stim­mung der Elek­tro­nen­dich­te in tech­ni­schen Plas­men ent­wi­ckelt, sowie das „Ge­heim­nis der Elek­tro­nen­hei­zung“ in Nie­der­druck­plas­men ge­lüf­tet.
                                                                                                                                                                                        

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Veröffentlichungen

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Kooperationen

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FÖR­DE­RUNG UND KO­OR­DI­NA­TI­ON

Die Deut­sche For­schungs­ge­mein­schaft (DFG), das Bun­des­mi­nis­te­ri­um für Bil­dung und For­schung (BMBF) sowie die Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum för­dern For­schung und Ent­wick­lung unter an­de­rem in den Be­rei­chen:

  • Ent­wick­lung einer In­dus­trie-kom­pa­ti­blen Plas­ma­dia­gnos­tik – Die Mul­ti­pol-Re­so­nanz-Son­de

  • Mo­del­lie­rung plas­ma­ge­stütz­ter Ab­schei­de­pro­zes­se

  • Elek­tro­nen­re­so­nanz­hei­zung in ka­pa­zi­tiv ge­kop­pel­ten Zwei­f­re­quen­z­ent­la­dun­gen

  • Mo­del­lie­rung und Si­mu­la­ti­on von Hoch­fre­quenz­plas­men bei mitt­le­ren und hohen Drü­cken

Ausstattung

Der Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik verfügt über verschiedene Labore, in denen Plasmatechnik Anwendung findet. 

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Postanschrift

Ruhr-Uni­ver­si­tät Bo­chum
Fa­kul­tät für Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik
Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik
Postfach ID 18
Uni­ver­si­täts­stra­ße 150
D-44801 Bo­chum

Kontaktdaten

Se­kre­ta­ri­at   
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Te­le­fon: (+49) (0) 234 32 - 27436
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La­ge­plan & An­rei­se­infor­ma­tio­nen der RUB                                                                            

Lehrstuhlinhaber

Prof. Dr.-Ing. Ralf Peter Brinkmann
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