BMBF-Projekt PT-GRID Plasma-Technologie-Grid Selbstkonsistente kinetische Berechnung von Ionen- und Neutralteilchenverteilungsfunktionen hinter einer Plasmarandschicht (Teilprojekt 4) …
PluTO - Plasma und optische Technologien Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde (Teilprojekt PLA 2) Projektleiter: Prof. Dr. Ralf Peter Brinkmann
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DFG Sonderforschungsbereich Transregio 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
Der Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik ist im von der DFG…
Verbesserung der Prozessstabilität Das Ziel des Projektes ist die Verbesserung der Prozessstabilität in der Herstellung von optischen Schichten durch die Charakterisierung und Steuerung der…
BMBF-Projekt PluTO+
Im Oktober 2014 startete das Projekt PluTO+, Plasma und optische Technologien: Erhöhung der Qualität und Ausbeute optischer Beschichtungstechnologien, mit dem Ziel, neue…
Plasmarandschichten
Überall dort, wo ein Plasma mit einer Oberfläche in Kontakt kommt, bildet sich eine Randschicht - also insbesondere auch an jedem Werkstück oder Substrat, das mittels Plasma…
Plasmadiagnostik
Um Plasmaprozesse zu überwachen wird eine Vielzahl von invasiven und nicht-invasiven Diagnostikmethoden angewendet. Das wohl bekannteste Diagnostikwerkzeug ist die Langmuir-Sonde,…
Magnetisierte Plasmen
Als magnetisiert wird ein Plasma bezeichnet, wenn ein extern angelegtes Magnetfeld die Dynamik geladener Teilchen innerhalb des Plasmas maßgeblich beeinflusst und damit…
