Ausstattung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im…
Forschung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfolgt derzeit vier Schwerpunkte, die sich insbesondere in der Technologie-Basis weitgehend überschneiden. Dazu steht ein eigener Reinraum zur…
LEHRSTUHL FÜR MIKROSYSTEMTECHNIK
Kooperationen Ruhr-Universität Bochum:
Forschungsgruppe Werkstoffe und Nanoelektronik ZGH Zentrum für Grenzflächendominierte …
Kooperation mit dem Fraunhofer FHR
Die Möglichkeit, ganze Radarsensoren auf einem Chip zu integrieren, revolutioniert derzeit die komplette Radartechnik. Integrierte Schaltungen kommen in den…
