M. Hillebrand, A. Thewes, und M. Hoffmann, „Erhöhung des Technologie-Reifegrades von Silicium-Gras zur Breitbandigen Entspiegelung von Siliciumoberflächen“, in Mikro-Nano-Integration, Aachen, 2022, Bd. 105, S. 95–99.
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