Prof. Dr.-Ing. Mar­tin Hoff­mann

2023

Philip Schmitt, Maira Buschheuer, Martin Hoffmann:
Mikromechanische Zugversuche auf Chip-Level
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden

Philip Schmitt, Björn Gojdka, Thomas Lisec, Florian Ziegler, Frederico Orlandini-Keller, Thibaut Devillers, Nora Dempsey, Martin Hoffmann:
Monolithic integration of permanent magnets in SOI-based micro-mechanisms 
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden

Lisa Schmitt, Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Verkippte Konstantkraft-Dreiecksfedern für weitauslenkende elektrostatische Aktoren
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden 

Jan Kristof Kother, Lisa Schmitt, Jan Barowski, Martin Hoffmann, Ilona Rolfes:
Simulation und Charakterisierung von dielektrischen MEMS-Spaltwellenleitern für den THz-Bereich
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden

Leander Willeke, Malte Becher, Nils Schmitt, Julia Jagosz, Andreas Ostendorf, Claudia Bock:
Konzepte zur Reduktion des MoS₂-Kontaktwiderstandes basierend auf großflächig gewachsenen PEALD-Filmen 
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden

Julia Jagosz, Malte Becher, Leander Willeke, Claudia Bock, Andreas Ostendorf:
Großflächiges polykristallines Wachstum von Molybdändisulfid auf 200 mm Glaswafern für die Integration in einem 2D pH-Sensorsystem
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden 

Mario Farny, Michael Olbrich, Arwed Schütz, Christoph Ament, Tamara Bechtold, Martin Hoffmann:
Magnetische Streufeld-basierte 2D-Rotationsbestimmung für einen Mikroaktor mit großer Auslenkung
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden 

Christoph Weigel, Ulrike Brokmann, Meike Hofmann, Arne Behrens, Edda Rädlein, Martin Hoffmann, Stefan Sinzinger, Steffen Strehle:
Reaktives Ionenätzen von Silikatgläsern für optische Mikrosysteme
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden

Anna Christina Thewes, Martin Hoffmann:
Mikromechanische Konstantkraft-Mechanismen 
MikroSystemTechnik Kongress 2023 (23. – 25. Oktober 2023), Dresden

Manfred Kohl, Stefan Seelecke and Ulrike Wallrabe (Editors)
Lisa Schmitt, Philip Schmitt, Anna Christina Thewes, Martin Hoffmann et. al. (Authors)
Cooperative Microactuator Systems
Reprint of the Special Issue Cooperative Microactuator Systems that was published in Actuators
ISBN 978-3-0365-8235-1 (PDF),2023
DOI: 10.3390/books978-3-0365-8235-1

Malte J. M. J. Becher, Julia Jagosz, Rahel-Manuela Neubieser, Jan-Lucas Wree, Anjana Devi, Marvin Michel, Claudia Bock, Evgeny L. Gurevich, Andreas Ostendorf:
Ultrashort Pulse Laser Annealing of Amorphous  Atomic Layer Deposited  MoS₂ Films
In: Advanced Engineering Materials, 2023
DOI: 10.1002/adem.202300677

Marcel Alver Burfeindt, Jan Kristof Kother, Lisa Schmitt, Jan Barowski, Ilona Rolfes, Martin Hoffmann:
Approaching Dielectric Silicon Slot Waveguides for THz Frequencies by Simulation From Optical and Electrical Points of View
In: 2023 Sixth International Workshop on Mobile Terahertz Systems (IWMTS)
DOI: 10.1109/IWMTS58186.2023.10207848

Philip Schmitt, Björn Gojdka, Thomas Lisec, Matthias Kroll, Martin Hoffmann:
SOI Integrated Micromagnets for mechanical Magnetic Field Detection
In: IEEE Sensors Letters ( Early Access ), 2023
DOI: 10.1109/LSENS.2023.3308125

Florian Preischel, David Zanders, Thomas Berning, Aleksander Kostka, Detlef Rogalla, Claudia Bock, Anjana Devi:
Interplay of Precursor and Plasma for The Deposition of HfO₂ via PEALD: Film Growth and Dielectric Properties
In: Adv. Mater. Interfaces 2023, 2300244
DOI: 10.1002/admi.202300244

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Sensors at the Edge: Towards Micromechanical in-Memory Computing
In: 2023 IEEE International Conference on Omni-layer Intelligent Systems (COINS), Berlin, Germany, 2023, pp. 1-5
DOI: 10.1109/COINS57856.2023.10189322

Malte J. Becher, Julia Jagosz, Claudia Bock, Andreas Ostendorf, Evgeny L. Gurevich:
Formation of low and high spatial frequency laser-induced periodic surface structures (LIPSS) in ALD deposited MoS₂
In: Front. Nanotechnol. Sec. Nanofabrication Volume 5 - 2023
DOI: 10.3389/fnano.2023.1227025

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
A force-compensated compliant MEMS-amplifier with electrostatic anti-springs
In: Microsystems & Nanoengineering 9, 83 (2023)
DOI: 10.1038/s41378-023-00557-5

Lisa Schmitt, Peter Conrad, Alexander Kopp, Christoph Ament, Martin Hoffmann:
Non-Inchworm Electrostatic Cooperative Micro-Stepper-Actuator Systems with Long Stroke
In: Actuators 2023, 12(4), 150
DOI: 10.3390/act12040150

Martin Hoffmann, Philip Schmitt, Steffen Wittemeier, Falk Schaller, Alexey Shaporin, Chris Stöckel, Volker Geneiß, Roman Forke, Christian Hedayat, Ulrich Hilleringmann, Harald Kuhn, Sven Zimmermann:
Storing MEMS Interfaces Without Electrical Auxiliary Energy for Long-Time Monitoring
In: 2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), pp. 522-525
DOI: 10.1109/MEMS49605.2023.10052634

Jan Barowski, Lisa Schmitt, Kristof Kother, Martin Hoffmann:
Design, Simulation, and Characterization of MEMS-Based Slot Waveguides
In: IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 2023
DOI:  10.1109/TMTT.2023.3255589

Lisa Schmitt, Xuan Liu, Philip Schmitt, Andreas Czylwik, Martin Hoffmann:
Large Displacement Actuators With Multi-Point Stability for a MEMS-Driven THz Beam Steering Concept
In: Journal of Microelectromechanical Systems, 2023
DOI: 10.1109/JMEMS.2023.3236145

2022

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
A Passive Micromechanical Counting Mechanism
In: 2022 IEEE Sensors, Conference Proceedings
DOI: 10.1109/SENSORS52175.2022.9967002

J. Jagosz, L. Willeke, M. Becher, A. Ostendorf, P. Plate, C. Bock:
Large-area deposition of thin crystalline MoS2 films on 200 mm wafers using plasma-assisted atomic layer deposition
In: GMM-Fachbericht 105: Mikro-Nano-Integration, 21. – 22.11.2022, Aachen; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5991-0, pp. 8-11

Marius Hillebrand, Anna Christina Thewes, Martin Hoffmann:
Erhöhung des Technologie-Reifegrades von Silicium-Gras zur Breitbandigen Entspiegelung von Siliciumoberflächen
Increasing the Technological Readiness Level of Silicon Grass for Broadband Anti Reflective Coating of Silicon Surfaces
In: GMM-Fachbericht 105: Mikro-Nano-Integration, 21. – 22.11.2022, Aachen; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5991-0, pp. 95-99

Leander Willeke, Julia Jagosz, Nils Gerke, Paul Plate, Martin Hoffmann, Claudia Bock:
Comparative study of wafer-scale Al₂O₃ layers made by thermal and plasma-enhanced ALD
In: GMM-Fachbericht 105: Mikro-Nano-Integration, 21. – 22.11.2022, Aachen; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5991-0, pp. 100-104

Peter Conrad, Leander Willeke, Martin Hoffmann:
Plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (ALD) von Al₂O₃ für Isolationsschichten in EWOD-Systemen
Plasma enhanced atomic layer deposition (ALD) of Al₂O₃ for insulating layers in EWOD Systems
In: GMM-Fachbericht 105: Mikro-Nano-Integration, 21. – 22.11.2022, Aachen; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5991-0, pp. 118-122

Thomas Berning, Malte Becher, Jan-Lucas Wree, Julia Jagosz, Aleksander Kostka, Andreas Ostendorf, Anjana Devi, Claudia Bock:
Nucleation and growth studies of large-area deposited WS₂ on flexible substrates
In: Mater. Res. Express 9  116401 (2022)
DOI: 10.1088/2053-1591/ac9bd0

David Zanders, Jorit Obenlüneschloß, Jan-Lucas Wree, Julia Jagosz, Parmish Kaur, Nils Boysen, Detlef Rogalla, Aleksander Kostka, Claudia Bock, Denis Öhl, Michael Gock, Wolfgang Schuhmann, Anjana Devi:
Unveiling Ruthenium(II) Diazadienyls for Gas Phase Deposition Processes: Low Resistivity Ru Thin Films and Their Performance in the Acidic Oxygen Evolution Reaction
In: Adv. Mater. Interfaces 2022, 2201709
DOI: 10.1002/admi.202201709

Peter Conrad, Andrii Berdnykov, Martin Hoffmann:
Design of a Liquid Dielectrophoresis-driven Platform with Cooperative Actuation
In: GMM-Fachbericht 101: ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 29. - 30. Juni 2022;  VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5894-4, pp. 182-185

Anna Christina Thewes, Melvin Jondral, Martin Hoffmann:
Directional Behavior of Periodic Honeycombs: towards Lightweight MEMS on SOI Wafers
In: GMM-Fachbericht 101: ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 29. - 30. Juni 2022;  VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5894-4, pp. 244-247

Lisa Schmitt, Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Optimization of Electrostatic Bending-Plate Actuators: Increasing the Displacement and Adjusting the Actuator Stiffness
In: GMM-Fachbericht 101: ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 29. - 30. Juni 2022;  VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5894-4, pp. 248-251

Philip Schmitt, Lisa Schmitt, Martin Hoffmann:
How to reduce the Pull-in Displacement of Parallel-Plate Actuators
In: GMM-Fachbericht 101: ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 29. - 30. Juni 2022;  VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5894-4, pp. 252-255

Arwed Schuetz, Mario Farny, Michael Olbrich, Martin Hoffmann, Christoph Ament, Tamara Bechtold:
Model Order Reduction of a Nonlinear Electromechanical Beam Actuator by Clustering Nonlinearities
In: GMM-Fachbericht 101: ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 29. - 30. Juni 2022;  VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5894-4, pp. 354-357

Mario Farny, Michael Olbrich, Christoph Ament, Martin Hoffmann:
Kick & Catch: Coaction of an electrostatic kick and magnetic catch system for the rotation of a sphere
In: GMM-Fachbericht 101: ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 29. - 30. Juni 2022;  VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5894-4, pp. 358-361

Xuan Liu, Lisa Schmitt, Benedikt Sievert, Jonas Lipka, C. Geng, Kevin Kolpatzeck, Daniel Erni, Andreas Rennings, Jan C. Balzer, Martin Hoffmann, Andreas Czylwik:
Terahertz Beam Steering Using a MEMS-based Reflectarray Configured by a Genetic Algorithm
In:  IEEEAccess, Vol. 10, pp. 84458-84472, 2022
DOI: 10.1109/ACCESS.2022.3197202

L. Schmitt, J. Barowski, M. Hoffmann:
THz Phase Shifter based on MEMS-actuated Slot Waveguides
In:  2022 Fifth International Workshop on Mobile Terahertz Systems (IWMTS), 2022, pp. 1-4
DOI: 10.1109/IWMTS54901.2022.9832456

Francesca Schenkel, Irwin Barengolts, Lisa Schmitt, Ilona Rolfes, Martin Hoffmann, Jan Barowski:
Silicon based Metamaterials for Dielectric Waveguides in the THz Range
In: 21st Mediterranean Microwave Symposium (MMS) 2022, May 9-13 2022.

Petr Kadera, Jesús Sánchez-Pastor, Lisa Schmitt, Martin Schüßler, Rolf Jakoby, Martin Hoffmann, Alejandro Jiménez-Sáez, Jaroslav Lacik:
Sub-THz Luneburg lens enabled wide-angle frequency-coded identification tag for passive indoor self-localization
In: International Journal of Microwave and Wireless Technologies , First View , pp. 1 - 15 (2022)
DOI: 10.1017/S175907872200054X

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
A passive acceleration sensor with mechanical 6 bit memory and mechanical analog-to-digital converter
In: Micro and Nano Engineering, May 2022, 100142
DOI: 10.1016/j.mne.2022.100142

Michael Olbrich, Mario Farny, Martin Hoffmann, Christoph Ament:
Modeling and Control Design of a Contact-Based, Electrostatically Actuated Rotating Sphere
In: Actuators 2022, 11, 90
DOI: 10.3390/act11030090

R.-M. Neubieser, J.-L. Wree, J. Jagosz, M. Becher, A. Ostendorf, A. Devi, C. Bock, M. Michel, A. Grabmaier:
Low-Temperature ALD Process Development of 200 mm wafer-scale MoS₂ for Gas Sensing Application
In: Micro and Nano Engineering, Vol. 15, 100126 (2022)
DOI: 10.1016/j.mne.2022.100126

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Tracing the Force-Displacement Characteristics of Non-Linear Microsystems by In-Situ Characterization
In: 2022IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS), 2022, pp. 691-694
DOI: https://doi.org/10.1109/MEMS51670.2022.9699564

2021

Christoph Weigel, Ulrike Brokmann, Meike Hofmann, Arne Behrens, Edda Rädlein, Martin Hoffmann, Steffen Strehle, Stefan Sinzinger:
Perspectives of reactive ion etching of silicate glasses for optical microsystems
In: J. of Optical Microsystems, 1(4), 040901 (2021)
DOI: https://doi.org/10.1117/1.JOM.1.4.040901

Anna Thewes, Philip Schmitt, Philipp Löhler, Martin Hoffmann:
Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von Zellen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Lisa Schmitt, Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Mechanischer 3-Bit Digital-Analog-Wandler (DAC) mit großem Stellweg
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Energieautarker Beschleunigungssensor mit Maximalwertspeicher
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Mario Farny, Martin Hoffmann:
Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer Kugel
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

M. Hoffmann, P. Schmitt, S. Zimmermann, C. Stöckel, R. Forke, V. Geneiß, S. Wittemeier, C. Hedayat, U. Hilleringmann, H. Kuhn:
Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

M. Hoffmann, P. Awakowicz, A. Devi, J. Schulze, B. Freyer, F.P. Witek, C. Bock
Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel
A process-integrating cluster tool for 2D materials: from single process to wafer level integration
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

M. Becher, J.-L. Wree, T. Berning, R.-M. Neubieser, A. Ostendorf, A. Devi, C. Bock, M. Michel:
Raman spectroscopy as an effective tool for characterizing large-area 2D TMDs deposited from the gas phase
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

T. Berning, S. M. J. Beer, N. Boysen, A. Devi, C. Bock:
Electrical properties of functional Y2O3 films applied to thin film transistors
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Hannes Mehner, Philip Schmitt, Martin Hoffmann:
Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-Bereich
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Christoph Weigel, Hai Binh Phi, Martin Hoffmann, Stefan Sinzinger, Steffen Strehl:
Vergleich der Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer Ausdehnung
In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 (8. – 10. November 2021), Stuttgart-Ludwigsburg; VDE-Verlag, ISBN 978-3-8007-5656-8

Xuan Liu, Lisa Schmitt, Kevin Kolpatzeck, Martin Hoffmann, Jan C. Balzer and Andreas Czylwik:
Configuration of a MEMS-based Terahertz Reflectarray Using a Genetic Algorithm
In: 2021 46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), 2021, pp. 1-2
DOI: https://ieeexplore.ieee.org/document/9567102

Lisa Schmitt and Martin Hoffmann:
Large Stepwise Discrete Microsystem Displacements Based on Electrostatic Bending Plate Actuation
In: Actuators 2021, 10(10), 272
DOI: https://www.mdpi.com/2076-0825/10/10/272

Shraddha Supreeti, Ralf Schienbein, Patrick Feßer, Florian Fern,  Martin Hoffmann and Stefan Sinzinger:
Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces
In: Nanomanufacturing and Metrology (2021) 4:175–180
DOI: https://doi.org/10.1007/s41871-021-00114-6

Sebastian M.J. Beer, Nils Boysen, Arbresha Muriqi, David Zanders, Thomas Berning, Detlef Rogalla, Claudia Bock, Michael Nolan and Anjana Devi: 
A study on the influence of ligand variation on formamidinate complexes of yttrium: new precursors for atomic layer deposition of yttrium oxide
In: Dalton Transactions, 2021, Advance Article.
DOI: 10.1039/D1DT01634B

Anna Christina Thewes, Philip Schmitt, Philipp Löhler and Martin Hoffmann:
Design and Characterization of an Electrostatic Constant-Force Actuator Based on a Non-Linear Spring System
In: Actuators 2021, 10(8), 192. 
DOI: 10.3390/act10080192

Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
3-Bit Digital-to-Analog Converter with Mechanical Amplifier for Binary Encoded Large Displacements
In: Actuators 2021, 10, 182.
DOI: 10.3390/act10080182

Zanders,David; Liu, Ji; Obenlüneschloß, Jorit; Bock, Claudia; Rogalla, Detlef; Mai, Lukas; Nolan, Michael; Barry, Seán T.; Devi, Anjana:
Cobalt Metal ALD: Understanding the Mechanism and Role of Zinc Alkyl Precursors as Reductants for Low-Resistivity Co
Thin Films
In: Chem. Mater. 2021
DOI: 10.1021/acs.chemmater.1c00877

Lu, Pai; Chen, Xuyuan; Ohlckers, Per; Halvorsen, Einar; Hoffmann, Martin; Müller, Lutz:
DRIE Si Nanowire Arrays Supported Nano-Carbon Film for Deriving High Specific Energy Supercapacitors On-Chip
In: J. Phys.: Conf. Ser. 1837 012005
DOI: 10.1088/1742-6596/1837/1/012005

Schmitt, Philip; Schmitt, Lisa; Tsivin, Nick; Hoffmann, Martin:
Highly Selective Guiding Springs for Large Displacements in Surface MEMS
In: Journal of Microelectromechanical Systems, May 2021
DOI: 10.1109/JMEMS.2021.3074822

Boysen, Nils; Zanders, David; Berning, Thomas; Beer, Sebastian M. J.; Rogalla, Detlef; Bock, Claudia; Devi, Anjana:
Atomic layer deposition of dielectric Y₂O₃ thin films from a homoleptic yttrium formamidinate precursor and water
In: Royal Society of Chemistry Adv., 2021, 11, 2565–2574
DOI: 10.1039/d0ra09876k

Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Denissel, Felix Arthur; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen:
Highly Anisotropic Fluorine-Based Plasma Etching of Ultra-Low Expansion Glass
In: Advanced Engineering Materials 2021, 2001336
DOI: 10.1002/adem.202001336

Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin:
Stepwise Electrostatic Actuator System for THz Reflect Arrays
In: GMM-Fachbericht 98: ACTUATOR 2021;
International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 17. - 19. Februar 2021

Conrad, Peter; Hoffmann, Martin:
A Consistent View on Cooperative Multistage Electrostatic Actuation
In: GMM-Fachbericht 98: ACTUATOR 2021;
International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications 17. - 19. Februar 2021

Kadera, Petr; Jiménez-Sáez, Alejandro; Schmitt, Lisa; Schüßler, Martin; Hoffmann, Martin; Lacik, Jaroslav; Jakoby, Rolf:
Frequency Coded Retroreflective Landmark for 230 GHz Indoor Self-Localization System
In: 15th European Conference on Antennas and Propagation (EuCAP), 22-26 March 2021
DOI: 10.23919/EuCAP51087.2021.9410973

Schmitt, L.; Liu, X.; Czylwik, A.; Hoffmann, M.:
Design and Fabrication of MEMS Reflectors for THz Reflect-Arrays
In: 2021 Fourth International Workshop on Mobile Terahertz Systems (IWMTS), 2021, pp. 1-5
DOI: 10.1109/IWMTS51331.2021.9486804

2020

Jiménez-Sáez, A.; Alhaj-Abbas, A.; Schüßler, M.; Abuelhaija, A.; El-Absi, M.; Sakaki, M.; Samfaß, L.; Benson, N.; Hoffmann, M.;
Jakoby, R.; Kaiser, T.; Solbach, K.:
Frequency-Coded mm-Wave Tags for Self-Localization System Using Dielectric Resonators
In: J. Infrared Millim. Terahertz Waves, Vol. 41, 908–925(2020)
DOI: 10.1007/s10762-020-00707-0

Liu, Xuan; Samfaß, Lisa; Kolpatzeck, Kevin; Häring, Lars; Balzer, Jan C.; Hoffmann, Martin; Czylwik, Andreas:
Terahertz Beam Steering Concept Based on a MEMS-Reconfigurable Reflection Grating
In: Sensors 2020, 20(10), 2874
DOI: 10.3390/s20102874

Mai, Lukas; Mitschker, Felix; Bock, Claudia; Niesen, Alessia; Ciftyurek, Engin; Rogalla, Detlef; Mickler, Johannes;
Erig, Matthias; Li, Zheshen; Awakowicz, Peter; Schierbaum, Klaus; Devi, Anjana:
From Precursor Chemistry to Gas Sensors: Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Process Engineering for
Zinc Oxide Layers from a Nonpyrophoric Zinc Precursor for Gas Barrier and Sensor Applications
In: Small 2020, 1907506
DOI: 10.1002/smll.201907506

Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
Engineering a Compliant Mechanical Amplifier for MEMS Sensor Applications
In: Journal of Microelectromechanical Systems PP(99):1-14, 2020
DOI: 10.1109/JMEMS.2020.2965260

Schricker, K.; Samfaß, L.; Grätzel, M.; Ecke, G.; Bergmann, J.P.:
Bonding mechanisms in laser-assisted joining of metal-polymer composites
In: Journal of Advanced Joining Processes, 1 (2020) 100008
DOI: 10.1016/j.jajp.2020.100008

Samfaß, Lisa; Baak, Nikolas; Meya, Rickmer; Hering, Oliver; Tekkaya, A. Erman; Walther, Frank:
Micro-magnetic damage characterization of bent and cold forged parts
In: Production Engineering 14, 77–85(2020)
DOI: 10.1007/s11740-019-00934-y

Biermann, S.; Magi, A.; Sachse, P.; Hoffmann, M.; Wedrich, K.; Müller, L.; Koppert, R.; Ortlepp, T.; Baldauf, J.:
Advanced broadband MEMS infrared emitter based on high-temperature-resistant nanostructured surfaces and
packaging solutions for harsh environments
In: Proceedings Volume 11279; Terahertz, RF, Millimeter, and Submillimeter-Wave Technology and Applications XIII; 1127908 (2020)
DOI: 10.1117/12.2545119

Schmitt, Lisa; Schmitt, Philip; Liu, Xuan; Czylwik, Andreas; Hoffmann, Martin:
Micromechanical Reflect-Array for THz Radar Beam Steering based on a Mechanical D/A Converter and a Mechanical Amplifier
In: 2020 Third International Workshop on Mobile Terahertz Systems (IWMTS)
DOI: 10.1109/IWMTS49292.2020.9166235

Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
Direct Binary Encoding of Displacements on the Nano-Scale
In: 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
DOI: 10.1109/MEMS46641.2020.9056116

Hoffmann, Martin:
Preface / Vorwort
In: GMM-Fachbericht 97: Mikro-Nano-Integration, 8. GMM-Workshop 15. – 17.09.2020 Online

Thewes, Anna; Breisch, Marina; Sengstock, Christina; Hoffmann, Martin:
Vitality investigation of adherent stem cells on nano-structured silicon surface
Vitalitätsuntersuchung adhärenter Stammzellen auf nanostrukturierter Silicium-Oberfläche
In: GMM-Fachbericht 97: Mikro-Nano-Integration, 8. GMM-Workshop 15. – 17.09.2020 Online

Berning,T.; Wree, J.-L.; Devi, A.; Bock,C.:
Strukturierung von großflächig abgeschiedenen Übergangsmetall-Dichalkogenid Filmen für den Einsatz in der 2D-Elektronik
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Mai, Lukas; Zanders, David; Subasi, Ersoy; Ciftyurek, Engin; Hoppe, Christian; Rogalla, Detlef; Gilbert, Wolfram;
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Wree, Jan-Lucas; Berning, Thomas; Bock, Claudia; Devi; Anjana:
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Schmitt, Philip; Tsivin, Nick; Hoffmann, Martin:
Micromechanical Analog-to-Digital Converter for digitization of mechanical displacements
Mikromechanischer Analog-Digital-Wandler zur Digitalisierung mechanischer Verschiebungen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Bock, Claudia; Subasi, Ersoy; Berning, Thomas; Pham, Duy Vu; Kunze, Ulrich:
Graphen-Elektroden für den Einsatz in Metalloxid-ünnfilmtransistoren
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin:
Dry chemical release of microstructures in the glass ceramic Zerodur
Trockenchemisches Freistellen von Mikrostrukturen in der Glaskeramik Zerodur
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
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Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications
Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Thewes, Anna; Weigel, Christoph; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin:
Optimization of a flexural plate wave sensor for high penetration depth and sensitivity
Optimierung eines Biegeplattenwellensensors für hohe Eindringtiefe und Sensitivität
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Magi, Andre; Biermann, Steffen; Koppert, Ralf; Hoffmann, Martin:
High temperature-resistant nanostructured infrared emitter
Hochtemperatur-feste nanostrukturierte IR-Emitter
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Weigel, Christoph; Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Mikrofluidische In-plane-Kontaktierungskonzepte
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Stehr, Uwe; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias:
Multiphysical design approach for compact RF MEMS oscillators on a SiCer composite substrate
Ganzheitliche Entwurfsmethodik für kompakte HF-MEMS-Oszillatoren auf einem SiCer-Verbundsubstrat
In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, 28. - 30. Oktober 2019

Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin:
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In: Transducers 2019 – EUROSENSORS XXXIII – Berlin, 23-27 June 2019
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An Analytical Formulation of the Radio-Frequency Response of Piezoelectric Contour-Mode MEMS Resonators Verified by Measurements
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An analytical temperature-dependent design model for contour-mode MEMS resonators and oscillators verified by measurements
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Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
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Design and implementation of a MEMS-based RF oscillator on a unique silicon-ceramic composite substrate
In: GeMiC 2018 - 2018 German Microwave Conference
DOI: 10.23919/GEMIC.2018.8335031

Mai, Lukas; Boysen, Nils; Subasi, Ersoy; de los Arcos, Teresa; Rogalla, Detlef; Grundmeier, Guido; Bock, Claudia;
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Water assisted atomic layer deposition of yttrium oxide using tris(N,N'-diisopropyl-2-dimethylamido-guanidinato)
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Surface-Nanostructured Al-AlN Composite Thin Films with Excellent Broad-Band Antireflection Properties Fabricated by
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In: ACS Appl. Nano Mater. 2018, 1, 1124-1130
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Y₂O₃ sol-gel passivation layer for solution-processed metal-oxide thin-film transistors
In: 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2018, Dortmund, 22.-23. Oktober 2018

Bock, Claudia; Subasi, Ersoy; Kasischke, Maren; Pham, Duy-Vu; Xiao, Shizhou; Du, Keming; Ostendorf, Andreas; Kunze, Ulrich:
Effective conversion processes of metal-oxide precursors for the reduction of the conversion temperature in solution
processed metal-oxide thin-film transistors
In: 7. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2018, Dortmund, 22.-23. Oktober 2018

Günther, Sarah; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; D’heer, Herbert; van Thourhout, Dries; Neft, Anna; Bartels, Frank;
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Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Automatisierte Testung Stimuli-sensitiver Funktionsmaterialien
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Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
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Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Müller, Lutz; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin:
A monolithic micro-optical interferometer deep etched into fused silica
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Weigel, Christoph; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin:
Deep etching of Zerodur glass ceramics in a fluorine-based plasma
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Input-current addition in closely positioned dual-stage ballistic rectifiers
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In: The 16th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2017),
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Active pore for sensor protection: A PNIPAM based micro valve in LTCC
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Catalytic silicon-platinum nanostructures for low-temperature MEMS hydrogen sensors
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Weigel, C.; Hoffmann, M.; Schonefeld, W.:
Deep etching of Zerodur in fluorine plasma for microsystems technology
Fluor-basiertes plasmatiefenätzen von zerodur für mikrotechnische anwendungen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Goj, B.; Bohm, S.; Dittrich, L.; Dressler, L.; Kühnel, M.; Fröhlich, T.; Hoffmann, M.; Imn, M.:
Measurement of the surface tension utilizing a MEMS-based tensiometer
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Müller, L.; Mehner, H.; Hoffmann, M.:
MEMS field ionization gas sensor based on palladium nanostructures
MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Si, S.; Dittrich, L.; Weigel, C.; Hoffmann, M.:
Miniaturization of periodic nanostructures for NIL masters with adjustable structure dimensions
Verkleinerung periodischer Nanostrukturen für NIL-Master mit einstellbaren Strukturdimensionen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Bohm, S.; Goj, B.; Dittrich, L.; Dressler, L.; Hoffmann, M.; Imn, M.:
Modelling of the contact behaviour of oscillating microprobes
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Bichra, M.; Müller, L.; Fesser, P.; Hoffmann, M.; Sinzinger, S.:
Nanostructured diffraction gratings for integrated metrology
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Günther, S.; Endrödy, C.; Si, S.; Gropp, S.; Weinberger, S.; Claes, R.; Justo, Y.; Herbert D'heer, Ir.; van Thourhout, D.; Neft, A. et al.:
Optical switching with a EWOD based system
EWOD System für optische Schalter
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Mehner, H.; Schmitt, P.; Hoffmann, M.:
Passive mechanical 2-bit counter for detection and storage of off-limit conditions
Passiver mechanischer 2-Bit Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Wedrich, K.; Mehner, H.; Hoffmann, M.:
Passive shock-threshold-sensor
Passiver Schock-Maximalwertsensor
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Schmitt, P.; Wedrich, K.; Hoffmann, M.:
Passive temperature-time-integrator
Autonomer Temperatur-Zeit-Integrator
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Gropp, S.; Stegner, J.; Stehr, U.; Fischer, M.; Müller, J.; Hein, M.; Hoffmann, M.:
Silicon-ceramic-combosite material for RF-MEMS-oscillator
Silicium-keramik-verbundsubstrat für einen HF-MEMS oszillator
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Leopold, S.; Hoffmann, M.:
Tilt actuation for tunable micro-prisms due to thermo-mechanical modulation of residual stress in aluminum nitride thin film beams
Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken
In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings

Lu, P.; Du, K.; Ohlckers, P.; Halvorsen, E.; Muller, L.; Leopold, S.; Hoffmann, M.; Grigoras, K.; Ahopelto, J.; Prunnila, M. et al.:
Silicon grass based nano functional electrodes for MEMS supercapacitors of improved energy density
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Lu, P.; Halvorsen, E.; Ohlckers, P.; Müller, L.; Leopold, S.; Hoffmann, M.; Grigoras, K.; Ahopelto, J.; Prunnila, M.; Chen, X.:
Ternary composite Si/TiN/MnO₂ taper nanorod array for on-chip supercapacitor
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Application of nanostructuring, nanomaterials and micro-nano-integration for improved components and system's performance
In: Pan Pacific Microelectronics Symposium 2016 (PAN PAC 2016) : Kohala Coast, Hawaii, USA, 25-28 January 2016. - Red Hook, NY : Curran Associates, Inc. . - 2016, pp. 13-22

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DOI: 10.1109/MIKON.2016.7492025

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Frank, A.; Schäffel, C.; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Fabrication of an RF-MEMS-switch on a hybrid Si-ceramic substrate
In: IMAPS/ACerS 12th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT), Denver, USA, 19.-21. April 2016

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DOI: 10.1109/GEMIC.2016.7461629

Fischer, Michael; Welker, Tilo; Leistritz, B.; Gropp, Sebastian; Schäffel, C.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
In: IMAPS/ACerS 12th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT), Denver, USA, 19.-21. April 2016

Müller, Lutz; Maier, Konrad; Helwig, Andreas; Hoffmann, Martin:
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren
In: 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2016, Duisburg, 05.-06. Oktober 2016

Weinberger, S.; Nguyen, T.T.; Lecomte, R.; Cheriguen, Y.; Ament, C.; Hoffmann, M.:
Linearized control of an uniaxial micromirror with electrostatic parallel-plate actuation
In: Microsystem Technologies 22, pages 441–447 (2016)
DOI: 10.1007/s00542-015-2535-2

Müller, L.; Hoffmann, M.; Maier, K.; Helwig, A.; Müller, G.:
Low temperature catalytic combustible hydrogen MEMS gas sensor enhanced by Si-Pt nanostructures
In: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshops 2016

Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure
In: Journal of Physics: Conference Series, Volume 757, Number 1
DOI: 10.1088/1742-6596/757/1/012023

Hoffmann, M.:
Micro-nano integration: Preface / Vorwort
In: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshops

Degenhardt, Sarah; Cheriguen, Yahia; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin:
Micro-Venturi injector: design, experimental and simulative examination
In: Journal of Physics: Conference Series, Volume 757, Number 1, 2016
DOI: 10.1088/1742-6596/757/1/012027

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Nano fabricated silicon nanorod array with titanium nitride coating for on-chip supercapacitors
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Hoffmann, Martin; Wedrich, Karin; Schmitt, Philipp; Mehner, Hannes; Jurisch, Reinhard:
Non-electrical sensing and storing: an alternative to electrical energy harvesting
In:  Procedia Engineering , Volume 168, pp. 1621-1625, 2016
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Mehner, H.; Müller, L.; Biermann, S.; Hänschke, F.; Hoffmann, M.:
Process flow for integration silicon grass with metallic nanostructures in surface micromachined systems
In: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshops 2016

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hänschke, Frank; Hoffmann, Martin:
Process flow to integrate nanostructures on silicon grass in surface micromachined systems
In: Journal of Physics: Conference Series, Volume 757, Number 1, 2016
DOI: 10.1088/1742-6596/757/1/012022

Bunge, Frank; Leopold, Steffen; Bohm, Sebastian; Hoffmann, Martin:
Scanning micromirror for large, quasi-static 2D-deflections based on electrostatic driven rotation of a hemisphere
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Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Wetting behaviour of LTCC and glasses on nanostructured silicon surfaces during sintering
In: The 3rd International Conference & 5th International MacroNano-Colloquium on the Challenges and Perspectives
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J. F. von Pock, D. Salloch, G. Qiao, U. Wieser, T. Hackbarth, and U. Kunze:
Quantization and anomalous structures in the conductance of Si/SiGe quantum point contacts
In: J. Appl. Phys. 119, 134306 (2016).
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Fischer, Michael; Welker, Tilo; Leistritz, B.; Gropp, Sebastian; Schäffel, C.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
In: IMAPS/ACerS 12th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems
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Goj, Boris; Dressler, Lothar; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Resonant three-dimensional electrostatic actuator in silicon technology
In: Proceedings 15th International Conference on New Actuators Bremen: Messe Bremen, 2016
ISBN 978-3-933339-26-3

Goj, Boris; Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Non-destructive material characterisation by oscillating microprobes
In: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), 19.-23. September 2016, Wien, Österreich

Hoffmann, Martin; Mehner, Hannes:
Energieautarke RFID-Sensoren – Messen & Speichern ohne elektrische Hilfsenergie
In: 8. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik - EAS 2016, Renningen, 25.-26. Februar 2016

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja:
Wissensstrukturierung für das Lernen in den Ingenieurwissenschaften
In: 11. Ingenieurpädagogische Regionaltagung 2016 - Technische Bildung im Spannungsfeld zwischen beruflicher und
akademischer Bildung, 23. - 25. Juni 2016, Hamburg

Mehner, Hannes; Weise, Christoph; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin:
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen
In: 8. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik - EAS 2016, Renningen, 25.-26. Februar 2016

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hänschke, Frank; Hoffmann, Martin:
Process flow to integrate nanostructures on silicon grass in surface micromachined systems
In: Proceedings of the 27th Micromechanics Europe Workshop, 28.-30. August 2016, Cork, Ireland

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hoffmann, Martin:
Prozesskette zur Integration Siliciumgras-basierter nanostrukturierter Flächen in Oberflächen-MEMS
In: 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration – MNI 2016, Duisburg, 05.-06. Oktober 2016

Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin:
MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure
In: Proceedings of the 27th Micromechanics Europe Workshop, 28.-30. August 2016, Cork, Irland

Si, Shuhao; Hoffmann, Martin:
Consecutive imprinting performance of large area UV nanoimprint lithography using bi-layer soft stamps in
oxygen-containing atmosphere
In: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), 19.-23. September 2016, Wien, Österreich

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin:
Low cost and large area fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes
In: 15th International Conference on Nanoimpirint & Nanoprint Technology (NNT), 26.-28. September 2016, Braga, Portugal

Silva Cortes, V.; Podoskin, D.; Stegner, J.; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Hein, M. A.; Müller, Jens, Hoffmann,
Martin; Weigel, R.; Fischer, G.; Hagelauer, A.:
Evaluation of a multiphysical RF MEMS oscillator based on LTE receiver performance requirements
In: International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications (MIKON), Krakow, Polen, 09.-11. Mai 2016

Stegner, J.; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Podoskin, D.; Stehr, U.; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, M. A.:
Compact low phase-noise MEMS-based RF oscillator on a dedicated silicon-ceramic composite substrate
In: European Microwave Conference 2016 (EuMC), London, England, 04.-06. Oktober 2016

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin:
Nicht-elektrischer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: 8. GMM-Workshop Energieautarke Sensorik - EAS 2016, Renningen, 25.-26. Februar 2016

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Hoffmann, Martin:
A monolithic micro-optical interferometer etched into fused silica
In: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), 19.-23. September 2016, Wien, Österreich

2015

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
2-axis stepping microactuator with large displacement range for pinhole array positioning
Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
2D stepping drive for hyperspectral systems
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 25 (7)
DOI: 10.1088/0960-1317/25/7/074002

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
2D stepping microdrive for hyperspectral imaging
In: Proceedings SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems, 95170K; (20215)
DOI: 10.1117/12.2178867

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
A hybrid SiCer substrate based on direct glass-based bonding of LTCC and silicon
In: WaferBond'15, 07.-12. Dezember 2015, Braunschweig, Deutschland

Mehner, Hannes; Weise, C.; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin:
A passive microsystem for detecting multiple acceleration events beyond a threshold
In: Microelectronic Engineering, Volume 145, 1 September 2015, pp. 104-111
DOI: 10.1016/j.mee.2015.03.023

Weigel, C.; Schneider, M.; Hoffmann, M.; Kahl, S.; Jurisch, R.:
Autonomous oxygen sensor in packaging via fatty acids
Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Hillenbrand, Matthias; Weiss, Robert; Endrödy, Csaba; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan:
Chromatic confocal matrix sensor with actuated pinhole arrays
In: Applied Optics 54 (15), pp. 4927-4936
DOI: 10.1364/AO.54.004927

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Design and characterization of a resonant triaxial microprobe
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 25 (2015) 125011
DOI: 10.1088/0960-1317/25/12/125011

Weigel, C.; Grewe, A.; Hoffmann, M.:
Design and fabrication of a micro optical capnometry measurement cuvette
Design und Fertigung eines optofluidischen Messsystems zur kapnometrischen Überwachung
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Gropp, Sebastian; Frank, Astrid; Fischer, Michael; Schäffel, Christoph; Hoffmann, Martin:
Electrostatic parallel-plate MEMS switch on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015
DOI: 10.1109/GEMIC.2015.7107841

Gropp, S.; Fischer, M.; Hoffmann, M.:
Fabrication of a RF-MEMS-switch on a silicon-ceramic-composite substrate
Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin:
Linear micromechanical stepping drive for pinhole array positioning
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 25 (5), p. 55009
DOI: 10.1088/0960-1317/25/5/055009

Weigel, C.; Markweg, E.; Hoffmann, M.:
Monolithic integrated interferometer in fused silica
In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Podoskin, Dmitry; Brückner, Klemens; Nowak, Jacek; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Hein, Matthias A.:
Multi-technology design of an integrated MEMS-based RF oscillator using a novel silicon-ceramic compound substrate
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015
DOI: 10.1109/GEMIC.2015.7107839

Mehner, Hannes; Schwebke, Silvan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Passive microsensor for binary counting of numerous threshold events
In: Proc. SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems, 95170Z (2015)
DOI: 10.1117/12.2178726

Mehner, H.; Schwebke, S.; Leopold, S.; Hoffmann, M.:
Passive microsensor for binary counting of numerous threshold events
Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Mehner, H.; Weise, C.; Schwebke, S.; Hampl, S.; Hoffmann, M.:
Passive microsystem for integrating acceleration loads
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Capraro, Beate; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
Radio frequency microelectromechanical system-platform based on silicon-ceramic composite substrates
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Self-aligning mold for hydrogel micro casting
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Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Schmitt, Jean; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Self-sufficient sensor for oxygen detection in packaging via radio-frequency identification
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DOI: 10.5194/jsss-4-179-2015

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
The Technical Eye - Three-dimensional Scanning of the Object-Space
Das Technische Auge - Dreidimensionale Abtastung des Objektraums
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Fischer, Michael; Welker, Tilo; Gropp, Sebastian; Müller, Jens; Karolewski, D.; Schelestow, K.; Hoffmann, Martin:
Thermal behavior of SiCer - An innovative compound substrate for MEMS
Thermisches Verhalten von SiCer - ein innovatives Verbundsubstrat für MEMS
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Goj, B.; Dressler, L.; Hoffmann, M.:
Triaxial oscillating microprobe for coordinate measurement machines
Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik
In: MikroSystemTechnik Kongress 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings, ISBN: 978-3-8007-4100-7

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
RF-MEMS-platform based on silicon-ceramic-composite-substrates
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015
DOI: 10.1109/GEMIC.2015.7107837

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
Wetting behaviour of glasses on nanostructured silicon surfaces
In: Journal of Electrical Engineering Volume 3, Number 1, January 2015 (Serial Number 7)
DOI: 10.17265/2328-2223/2015.01.002

Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Lecomte, Roméo; Cheriguen, Yahia; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin:
Linearized control of an uniaxial micromirror with electrostatic parallel-plate actuation
In: Microsystem Technologies April 2015, Springer Berlin Heidelberg
DOI: 10.1007/s00542-015-2535-2

S. Pal, H. Nong, S. Markmann, N. Kukharczyk, S. R. Valentin, S. Scholz, A. Ludwig, C. Bock, U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Ultrawide electrical tuning of light matter interaction in a high electron mobility transistor structure
In: Scientific Reports 5, 16812 (2015).
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F. Jaehnike, D. V. Pham, R. Anselmann, C. Bock, U. Kunze:
High quality Solution-Processed Silicon Oxide Gate Dielectric applied on Indium Oxide based Thin-Film Transistors
In: ACS Appl. Mater. Interfaces 7, 14011-14017 (2015).
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S. Markmann, H. Nong, S. Pal, N. Hekmat, S. Scholz, N. Kukharchyk, A. Ludwig, S. Dhillon, J. Tignon, X. Marcadet, C. Bock,
U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Spectral modification of the laser emission of a terahertz quantum cascade laser induced by broad-band double
pulse injection seeding
In: Appl. Phys. Lett. 107, 111103 (2015).
DOI: 10.1063/1.4930993

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
RF-MEMS-Platform based on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
In: Proceedings German Microwave Conference 2015 (GeMic), Nürnberg, 16.-18. März 2015

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Ein dreiachsiger, oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin:
Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Hoffmann, Martin; Mehner, Hannes; Weigel, Christoph:
Non-electrical long-term incident storage for wireless sensors
In: 41nd Micro and Nano Engineering (MNE), 21.-24. September 2015, Den Haag, Niederlande

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja:
Anwendungsorientierte Fachlandkarten: Fallbeispiel Mikro-Nano-Integration
In: 10. Ingenieurpädagogische Regionaltagung 2015 - Anwendungsorientierung und Wissenschaftsorientierung
in der Ingenieurbildung, 05.-07.11.2015, Eindhoven, Niederlande

Leopold, Steffen; Paetz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin:
The engineered eye - three-dimensional scanning of the object-space
In: Proceedings of the 26th Micromechanics Europe Workshop, 20.-23. September 2015, Toledo, Spanien

Mehner, Hannes; Schwekbe, Silvan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Micromechanical binary counter mechanism for storing off-limit conditions
In: Proceedings of the 26th Micromechanics Europe Workshop, 20.-23. September 2015, Toledo, Spanien

Mehner, Hannes; Weise, C.; Hoffmann, Martin; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan:
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Schwebke, Silvan; Hoffmann, Martin:
Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Müller, Lutz; Maier, Konrad; Helwig, Andreas; Müller, Gerhard; Hoffmann, Martin:
Low temperature catalytic combustible hydrogen MEMS gas sensor enhanced by Si-Pt nanostructures
In: 41nd Micro and Nano Engineering (MNE), 21.-24. September 2015, Den Haag, Niederlande

Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Autonomer RFID-Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: Thüringer Werkstofftag 2015, Weimar, 11. März 2015

Weigel, Christoph; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin:
Design und Fertigung eines optofluidischen Messsystems zur kapnometrischen Überwachung
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Hoffmann, Martin:
Monolithisch in Kieselglas integriertes Interferometer
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard:
Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe: VDE Verlag (2015)
ISBN: 978-3-8007-4100-7

S. Markmann, H. Nong, S. Pal, N. Hekmat, S. Scholz, N. Kukharchyk, A. Ludwig, S. Dhillon, J. Tignon, X. Marcadet,
C. Bock, U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Double pulse injection seeding of a Terahertz Quantum Cascade Laser
In: Proceedings of the 40th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Hongkong (2015).

S. Pal, H. Nong, S. Markmann, N. Kukharczyk, S. R. Valentin, S. Scholz, A. Ludwig, C. Bock, U. Kunze, A. D. Wieck, N. Jukam:
Strong coupling of intersubband resonance in a single triangular well to a THz matamaterial
In: Proceedings of the 40th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Hongkong (2015).

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Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Semi-contact measurements of three-dimensional surfaces utilizing a resonant uniaxial microprobe
In: Measurement Science and Technology 25 (2014) 064012
DOI: 10.1088/0957-0233/25/6/064012

Müller, Lutz; Käpplinger, I.; Biermann, S.; Brode, Wolfgang; Hoffmann, Martin:
Infrared emitting nanostructures for highly efficient microhotplates
In: Journal of Micromechanics and Microengineering 24 (2014) 035014
DOI: 10.1088/0960-1317/24/3/035014

Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin:
Quasi-static micromirror with enlarged deflection based on aluminum nitride thin film springs
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C. Weber, M. Oberberg, D. Weber, C. Bock, D. V. Pham, U. Kunze:
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Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinziger, Stefan; Hoffmann, Martin:
Two-dimensional stepping drive for hyperspectral systems
In: Proceedings of the 25th Micromechanics Europe Workshop, August 31 - September 3, 2014, Istanbul, Turkey

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Capraro, Beate; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
RF-MEMS-Platform based on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
In: Proceedings IMAPS/ACerS 10th International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems
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Goj, Boris; Bartsch, Heike; Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens:
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Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin:
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Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin:
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Micromechanical, vertical comb-drive-structures for the construction of an electrostatic energy harvester
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In: Proceedings of 40th Micro and Nano Engineering (MNE 2014), Lausanne Switzerland, 22. - 26.09.2014

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Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich
In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl. - 2014, pp. 107-111
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Mehner, Hannes; Weise, Christoph; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin:
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Müller, Lutz; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Hoffmann, Martin:
Funktionale Nanostrukturen für hocheffiziente Infrarotemitter in der Sensortechnik
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Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang:
Entwicklung und Optimierung mikrotechnischer Silizium- und Keramikkomponenten zur Realisierung eines Fluidiksensors
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Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Käpplinger, Indira; Biermann, Steffen; Brode, Wolfgang;
Hoffmann, Martin:
Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Beispiel eines IR-basierten Fluidsensors
In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl. - 2014, pp. 127-130
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Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin:
Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem Stellweg
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Hampl, Stefan; Leistritz, Bianca; Saft, Benjamin; Hoffmann, Martin; Hennig, Eckhard:
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Markweg, Eric; Nguyen, Tran-Trung; Weinberger, Stefan; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin:
Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin:
Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner Aluminiumnitridschichten
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern
In: Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen: VDE Verlag (2013)
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In: Proceedings of the 24th Micromechanics Europe Workshop, Aalto, Finland (2013)

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Design of a biaxial nanoprobe utilizing Matlab Simulink
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Needlelike Nanostructures on Aluminum Nitride Membranes for Dynamic Lenses using Thermo-Capillarity
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Markweg, Eric; Hillenbrand, Matthias, Sinzinger, Stefan, Hoffmann, Martin:
Planar plano-convex microlens in silica using ICP-CVD and DRIE
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Mehner, Hannes; Brueckner, Klemens; Karolewski, D.; Michael, Steffen; Hein, Matthias; Hoffmann, Martin:
Stress controlled piezoelectric AlN-MEMS-Resonators with molybdenum electrodes for GHz applications
In: Proceedings of the 23rd Micromechanics Europe Workshop, Ilmenau, Germany (2012)
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Weinberger, Stefan; Cheriguen, Yahia; Hoffmann, Martin:
Static large-angle micromirror with aluminum nitride springs
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In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2011, 10.-12. Oktober 2011 / Darmstadt, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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Batch-taugliche Fertigungsansätze für funktionenintegrierende feinwerktechnische Systemkomponenten mit
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Aluminiumnitrid Dünnschicht-Nembranen - Nanokristalline Materialstruktur als Basis hoher mechanischer Stabilität
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ISBN 9783800732166

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In: Thüringer Werkstofftag 2010, TU Ilmenau / Spieß, L.; Rädlein, E.; Schaaf, P. (Hrsg.)
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Stubenrauch, Mike; Fröber Ulrike; Fischer, Robert; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut:
Ansiedlung adhärenter Zellen in Bio-Mikrosystemen
5th Workshop „Microtechnology for Chemistry and Biology Laboratories“ , Elgersburg, Germany, February 2010

Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Kremin, Christoph; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin:
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Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Lilienthal, Katharina; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
Fertigungsinnovation: Kletten statt Kleben
In: Kongressdokumentation „Innovative Oberflächen: Mehrwert - Nachhaltigkeit – Funktionalität“, 3. MATERIALICA Surface Kongress,
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Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin:
Klebe- und klemmfreies Anschlusskonzept für mikrofluidische Systeme mittels nanostrukturierter Oberflächen
In: GMM-Fachbericht Mikro-Nano-Integration/Beiträge des 1. GMM-Workshops, Seeheim, 12.-13. März 2009.
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Stubenrauch, Mike; Schwandt, M.; Hecht, Siegmar; Kremin, Christoph; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin:
Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen
In: GMM-Fachbericht Mikro-Nano-Integration/Beiträge des 1. GMM-Workshops, Seeheim, 12.-13. März 2009.
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Weinberger, Stefan; Lukman, D.; Hoffmann, Martin:
Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/ anorganischen Schichtsystemen
In: MikroSystemTechnik KONGRESS 2009, 12.-14. Oktober 2009 / Berlin, Proceedings. - VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM
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