Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet und befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS), von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum.
Forschungsschwerpunkte sind neue Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische Anwendungsfelder.
Ruhr-Universität Bochum
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Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
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