Ausstattung
Forschungslabor Mikroelektronik Bochum - ForLab Bochum
Das „Forschungslabor Mikroelektronik Bochum“ - ForLab Bochum umfasst im Wesentlichen den Reinraum des Lehrstuhls für Mikrosystemtechnik (Gebäude ID, Ebene 05) der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Ruhr-Universität Bochum (RUB) und stellt wesentliche Basistechnologien der Mikrosystemtechnik und der 2D-Halbleitertechnologie auf Substraten bis 200 mm Durchmesser zur Verfügung.
- Link zur ForLab Webseite:
Mikroelektronikforschung an der Ruhr-Universität Bochum
- Downloadlink zur Nutzungsordnung (pdf-Datei):
Nutzungsordnung des Gerätezentrums "Forschungslabor Mikroelektronik Bochum" - ForLab Bochum
Unser Reinraumbereich
Der Lehrstuhl verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen
Dazu gehören unter anderem:
- PVD Clustertool (Aufdampfanlage, Co-Sputter Kammer, Reaktive Sputter-kammer), Fünfkammer Plasma Clustertool, Mask Aligner, Lackschleuder, Heizplatten, Laserlithografiesystem (Strukturbreite 600 nm), Rasterelektronenmikroskop/Elektronenstrahl-Lithografiesystem, Oxidationsöfen, Inertgasglovebox mit Lackschleuder und Ozone Cleaner, Plasmaverascher, Plasmaätzanlage (ICP-RIE), Plasmabeschichtungs-anlage (ICPECVD), Aufdampfanlagen, Temperanlagen, Wafersägen, Ritzgerät, Drahtbonder
Präparationsbegleitend werden die Bauelemente und Systeme mit folgenden Geräten charakterisiert:
- optische Mikroskope, Ellipsometer, Interferenzmikroskop, Konfokalmikroskop, Rastersondenmikroskope (AFM, MFM)
Für magnetfeldabhängige und temperaturabhängige Messungen stehen mehrere Kryostate (Temperaturbereich: 300 mK bis 500 K) und Elektromagnete und supraleitende Magnete (bis 17 T) zur Verfügung. Die elektrische Charakterisierung erfolgt mittels Semiconductor Parameter Analyzern, Lock-In Technik (bis f = 200 MHz) und Kapazitäts-Spannungs-Messgeräten.