BMBF-Projekt PT-GRID
Plasma-Technologie-Grid
Selbstkonsistente kinetische Berechnung von Ionen- und Neutralteilchenverteilungsfunktionen hinter einer Plasmarandschicht (Teilprojekt 4)
Projektleiter: Prof. Dr. Ralf Peter Brinkmann

Der Mo­di­fi­ka­ti­on von Ober­flä­chen (z. B. durch Ätzen oder Ab­schei­den) durch tech­ni­sche Plas­men kommt heut­zu­ta­ge in ver­schie­de­nen In­dus­trie­zwei­gen eine große Be­deu­tung zu: Das Spek­trum reicht von der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie über die Au­to­mo­bil- und Tex­til­in­dus­trie bis hin zur Me­di­zin­tech­nik.

Die phy­si­ka­li­schen und tech­no­lo­gi­schen Ei­gen­schaf­ten eines HF-Plas­mas wer­den in hohem Maße von der Plas­ma­rand­schicht be­stimmt. Ob­wohl die Schicht nur einen klei­nen Teil des Plas­ma­vo­lu­mens aus­macht, kon­trol­liert sie die Ein­kopp­lung der elek­tri­schen En­er­gie, ins­be­son­de­re in ka­pa­zi­tiv ge­kop­pel­ten Plas­men, und ist ver­ant­wort­lich für das Auf­tref­fen en­er­gie­rei­cher Teil­chen (Ionen und Neu­tra­le) auf die ent­spre­chen­de Ober­flä­che.

Für das Ver­ständ­nis und die Wei­ter­ent­wick­lung eines Plas­ma­pro­zes­ses ist somit die Ver­füg­bar­keit einer Me­tho­de zur Be­rech­nung der En­er­gie- und Win­kel­ver­tei­lung der en­er­gie­rei­chen Teil­chen wich­tig. Dabei muss zum einen die in­ne­re Dy­na­mik der Rand­schicht be­kannt sein; zum an­de­ren aber auch ihr be­stimm­ter je­wei­li­ger Be­triebs­zu­stand, der durch das Plas­ma als Gan­zes be­stimmt wird.

Mehr zum Projekt finden Sie unter https://www.zib.de/projects/pt-grid-plasma-technology-grid.

Projektpartner: 
Fraun­ho­fer-In­sti­tut für Schicht- und Ober­flä­chentech­nik (IST) on­line: ist.​fraunhofer.​de

CFX Ber­lin Soft­ware GmbH on­line: cfx-ber­lin.​de

En­gi­nee­ring Sys­tem In­ter­na­tio­nal GmbH (ESI) on­line: esi-cfd.​com