terahertz.NRW
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik gehört zum Forschungsnetzwerk terahertz.NRW, das im Förderprogramm »Netzwerke 21« des MKW angesiedelt ist.
Folgende Themenschwerpunkte werden…
MARIE – Mobile Material Characterization and localization by electromagnetic sensing
Teilprojekt C12: Passive strahllenkende Wellenleiter-Arrays
Das Teilprojekt C12 gehört zum SFB/TRR 196 MARIE.…
Ausstattung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im…
Lehre
Vorlesungen
Vorlesungen
Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann bietet im Sommersemester 2025 die Vorlesungen „Mikrosysteme“ und „Design und Herstellung von MEMS“ für Master-Studierende an.
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Unsere Projekte
EXIST-Forschungstransfer des Bundesministeriums für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK)
Beendete Projekte angesiedelt an der Ruhr-Universität Bochum
Beendete Projekte angesiedelt…
Publikationen
2025
Manfred Kohl, Christoph Ament, Gowtham Arivanandhan, Tamara Bechtold, Peter Conrad, Sipontina Croce, Vincent Gottwald, Martin Hoffmann et al.: Active bi- and multistability…
Ausstattung
Forschungslabor Mikroelektronik Bochum - ForLab Bochum
Unser Reinraumbereich
Der Lehrstuhl verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen
Dazu…
Energieautarke Mikrosensorik
Alle sagten: „Das geht nicht!“ - Dann kam jemand, der das nicht wusste, und hat es einfach gemacht!
Energieautarke Systeme wurden bislang zumeist so verstanden, dass…
