Ausstattung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im…
Lehre
Vorlesungen
Vorlesungen
Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann bietet im Sommersemester 2025 die Vorlesungen „Mikrosysteme“ und „Design und Herstellung von MEMS“ für Master-Studierende an.
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Unsere Projekte
EXIST-Forschungstransfer des Bundesministeriums für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK)
Beendete Projekte angesiedelt an der Ruhr-Universität Bochum
Beendete Projekte angesiedelt…
Publikationen
2025
Manfred Kohl, Christoph Ament, Gowtham Arivanandhan, Tamara Bechtold, Peter Conrad, Sipontina Croce, Vincent Gottwald, Martin Hoffmann et al.: Active bi- and multistability…
Ausstattung
Forschungslabor Mikroelektronik Bochum - ForLab Bochum
Unser Reinraumbereich
Der Lehrstuhl verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen
Dazu…
Energieautarke Mikrosensorik
Alle sagten: „Das geht nicht!“ - Dann kam jemand, der das nicht wusste, und hat es einfach gemacht!
Energieautarke Systeme wurden bislang zumeist so verstanden, dass…
ZWEIDIMENSIONALE MATERIALYSTEME FÜR ELEKTRONIK UND SENSORIK
"Geh nicht immer auf dem vorgezeichneten Weg, der nur dahin führt, wo andere bereits gegangen sind."
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MIKRO-NANO-INTEGRATION
Dieses Thema bildet einen der langfristigen, übergreifenden Schwerpunkte der eigenen Forschung; seit 2007 leitet Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann den Fachausschuss 4.7…
