Der Lehrstuhl verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen
Dazu gehören unter anderem:
PVD Clustertool (Aufdampfanlage, Co-Sputter Kammer, Reaktive…
Das „Forschungslabor Mikroelektronik Bochum“ - ForLab Bochum umfasst im Wesentli chen den Reinraum des Lehrstuhls für Mikrosystemtechnik (Gebäude ID, Ebene 05) der Fakultät für Elektrotechnik und…
Einfluss von Oberflächenstrukturen
Terahertz-Zeitbereichsspektroskopie (Time-Domain Spectrodcopy, TDS) ist eine etablierte Technologie zur Identifizierung und Charakterisierung von Materialien. Für…
