Forschung

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfolgt derzeit vier Schwerpunkte, die sich insbesondere in der Technologie-Basis weitgehend überschneiden. Dazu steht ein eigener Reinraum zur Verfügung, der 2010 gebaut und 2017 - 2019 wegen erheblicher baulicher Mängel grundlegend überarbeitet und für die Bearbeitung von Wafern bis 200 mm ertüchtigt wurde. Darüber hinaus werden Geräte im Zentrum für Grenzflächen-dominierte Höchstleistungswerkstoffe betreut und genutzt, insbesondere die dort vorhandenen Anlagen zum Plasma-basierten Ätzen, und es besteht eine aktive Kooperation mit dem IMN MacroNano^® und ZMN der TU Ilmenau.

"Phantasie ist wichtiger als Wissen, denn Wissen ist begrenzt. Phantasie aber umfasst die ganze Welt."
Albert Einstein

Unsere Forschungsbereiche:

Mikroaktorik

Vorwiegend auf Basis der „Silicon-On-Insulator“–Technologie (SOI) werden komplexe mikroaktorische Systemkonzepte erforscht. Dabei stehen elektrostatische Prinzipe im Vordergrund und schließen auch fluidische Systeme ein, die Tropfen mittels dielektrischer Effekte bewegen.

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Energieautarke Mikrosensorik

Unser Ansatz zielt hierbei darauf ab für die Verstärkung, Speicherung und AD-Wandlung ganz auf elektrische Hilfsenergie zu verzichten.

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Zweidimensionale Materialsysteme für Elektronik und Sensorik

2D Materialien sind eine relativ junge Klasse von Materialien, die aus sehr dünnen, im Idealfall monolagigen, aber dennoch kristallinen Schichten bestehen. Eine besondere Eigenschaft ist, dass hier unterschiedliche Schichten auch dann kombiniert werden können, wenn ihre Kristallgitter nicht angepasst sind.

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Mikro-Nano-Integration

Dieses Thema bildet einen der langfristigen, übergreifenden Schwerpunkte der eigenen Forschung. Es zeichnet sich ab, dass im Rahmen der More-than-Moore Strategie hier der Integration von Post-CMOS-Nanostrukturen auf Mikroelektronik-Wafern eine Schlüsselrolle zukommen wird.

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Optische Mikrosysteme

Optische Mikrosysteme bilden einen durchgehenden Schwerpunkt der Forschungstätigkeit. Angefangen von Wellenleiter-Systemen für die Sensorik und die Optische Kommunikationstechnik bis hin zu Emittern und Absorbern für die langwellige Infrarot-Technik.

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ForLab

Im Projekt wird eine innovative, monolagengenaue Depositions- und Ätztechnologie bei niedrigen Temperaturen zur Herstellung kostengünstiger, flexibler Mikroelektronik und ultrasensitiver Mikrosensorik erarbeitet und in einer 200 mm Clusteranlage auf Substraten umgesetzt.

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Ausstattung

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im ID-Gebäude, der 2020 fertig gestellt wurde.

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