Forschung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfolgt derzeit vier Schwerpunkte, die sich insbesondere in der Technologie-Basis weitgehend überschneiden. Dazu steht ein eigener Reinraum zur Verfügung, der 2010 gebaut und 2017 - 2019 wegen erheblicher baulicher Mängel grundlegend überarbeitet und für die Bearbeitung von Wafern bis 200 mm ertüchtigt wurde. Darüber hinaus werden Geräte im Zentrum für Grenzflächen-dominierte Höchstleistungswerkstoffe betreut und genutzt, insbesondere die dort vorhandenen Anlagen zum Plasma-basierten Ätzen, und es besteht eine aktive Kooperation mit dem IMN MacroNano® und ZMN der TU Ilmenau.
"Phantasie ist wichtiger als Wissen, denn Wissen ist begrenzt. Phantasie aber umfasst die ganze Welt."
Albert Einstein
Ausstattung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im ID-Gebäude, der 2020 fertig gestellt wurde.
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