Mikrosystemtechnik

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet und befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS), von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum.
Forschungsschwerpunkte sind neue Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische Anwendungsfelder.

Lehre an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (© Adobe Stock)

Publikationen der Lehrstühle (© Adobe Stock)

Publications

Video "Chair of Microsystems Technology at RUB"

Latest Announcements

Neugier wecken: Kinderbuch über Elektrotechnik

Ein neues Kinderbuch aus der VDE-Impulsbuchreihe vermittelt die Welt der Elektrotechnik auf anschauliche Weise. Entstanden ist es in Zusammenarbeit mit dem Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik.

Faculty Colloquium: Presentations by Prof. Dr. Clara Saraceno and Dr. Lisa Schmitt

At the faculty colloquium on June 10, 2026, Managing Director Dr. Corinna Heldt welcomed attendees to two engaging talks on current research topics in the fields of Photonics and Ultrafast Laser Science and Microsystems Technology.

Erneute Auszeichnung für Start-Up MechIC auf der Transferkonferenz iCCC2026

Auszeichnung auf der iCCC20226: Best Poster Philip Schmidt – für eine klare, visuell starke und wissenschaftlich präzise Darstellung

Competence Atlas for Microelectronics Research at German Universities

Companies and research institutions can search for expertise, equipment, or facilities on the new online platform without registering. With the launch of the ForLab Competence Atlas, a key milestone in the ForLab-Natalie project has been achieved.

05.03.2026 - 06.03.2026

Fachtagung „Mikroelektronik-Forschung in Deutschland: von den Grundlagen zur Anwendung“

Der ForLab-Verbund lädt herzlich zur Ausgabe 2026 der Fachtagung „Mikroelektronik-Forschung in Deutschland: von den Grundlagen zur Anwendung“ ein.

Prof. Martin Hoffmann is the new Chairman of the Board of VDE VDI GMM

The members of the VDE/VDI-Society Microelectronics, Microsystems and Precision Engineering (VDE VDI GMM) have elected a new board. Prof. Martin Hoffmann will lead the professional association in the coming years.