Ansprechpartner am Lehrstuhl: Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann, M. Sc. Peter Conrad
Links: DFG-GEPRIS: Informationen zum Teilprojekt im DFG-Schwerpunktprogramm KOMMMA
Der Lehrstuhl verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen
Dazu gehören unter anderem:
PVD Clustertool (Aufdampfanlage, Co-Sputter Kammer, Reaktive…