PluTO - Plasma und optische Technologien Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde (Teilprojekt PLA 2) Projektleiter: Prof. Dr. Ralf Peter Brinkmann
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BMBF-Projekt PT-GRID Plasma-Technologie-Grid Selbstkonsistente kinetische Berechnung von Ionen- und Neutralteilchenverteilungsfunktionen hinter einer Plasmarandschicht (Teilprojekt 4) …
Magnetisierte Plasmen
Als magnetisiert wird ein Plasma bezeichnet, wenn ein extern angelegtes Magnetfeld die Dynamik geladener Teilchen innerhalb des Plasmas maßgeblich beeinflusst und damit…
Plasmadiagnostik
Um Plasmaprozesse zu überwachen wird eine Vielzahl von invasiven und nicht-invasiven Diagnostikmethoden angewendet. Das wohl bekannteste Diagnostikwerkzeug ist die Langmuir-Sonde,…
Plasmajets
Plasmajets sind Nichtgleichgewichtsplasmaquellen, bei denen das thermische Nichtgleichgewicht durch einen stetigen Gasfluss aufrechterhalten wird. Wie bei anderen kalten Plasmen besitzen…
Plasmarandschichten
Überall dort, wo ein Plasma mit einer Oberfläche in Kontakt kommt, bildet sich eine Randschicht - also insbesondere auch an jedem Werkstück oder Substrat, das mittels Plasma…
M. Sc. Niels Heermeier
Wissenschaftlicher Mitarbeiter
Photonik und Terahertztechnologie
Adresse: Technische Universität Berlin Fakultät Mathematik und…