Bei der „Micro and Nano Engineering Conference – MNE2021“ ging der Posterpreis für die Kategorie „Nanodevices und MEMS“ an Philip Schmitt vom Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik der RUB für den Beitrag zum Thema „A Passive Acceleration Sensor with 6 Bit mechanical Memory and Analog-to-Digital Converter“. In jeder der vier thematischen Kategorien wird ein Best Poster Award vergeben, insgesamt wurden 279 Posterbeiträge vorgestellt.
Der mit den Poster Award gewürdigte neuartige Ansatz einer „Passiven Sensorik“ beschäftigt sich mit Sensoren, die zur Messwerteerfassung, Messwerteauswahl, Speicherung und Digitalisierung keine elektrische Hilfsenergie benötigen. Solche Sensoren eignen sich für die vorausschauende Wartung (Predictive Maintenance), aber auch für die Logistik-Überwachung sensibler Güter. Sie können ohne Leitungen oder Batteriewechsel über lange Zeiträume auch in thermisch kritischen Umgebungen (niedrige oder hohe Temperaturen, starke Temperaturwechsel) genutzt werden. Das Auslesen der Daten erfolgt mittels RFID-Lesegeräten, die das digitalisierte Signal abfragen können.
Mit in diesem Jahr 477 Teilnehmern ist die MNE eine der größten europäischen Konferenzen im Bereich Micro- und Nano Technologie, die dieses Jahr vom 20. Bis 23. September in Turin (Italien) stattfand. Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik war mit drei Beiträgen vertreten.
Der Beitrag „Triangular Springs for Large Displacements of Comb-Drive Actuators“ (Paper-Nummer 0221) stellt Kammaktoren vor, die durch die Verwendung einer dreieckförmigen Führungsfeder hohe Stellwege erreichen, wobei der Fokus auf den besonders vorteilhaften Eigenschaften (Selektivität, Kraft-Weg-Kennlinie) von gekippten Dreiecksfedern liegt.
Die Prozessentwicklung für die Abscheidung des 2D Materials MoS2 im industriellen Maßstab bei T = 100 °C ist Gegenstand des dritten Beitrags: “Low-Temperature ALD Process Development of 200 mm wafer-scale MoS2 for Gas Sensing Application” (PD 14) Ein solcher Prozess wird für die zukünftige Anwendung im Bereich der flexiblen 2D Elektronik/Sensorik benötigt. Die vom Fraunhofer Institut IMS präsentierten Ergebnisse stammen aus einer Kooperation des Instituts mit der RUB.
Die Konferenz wurde, nachdem sie 2020 ausgefallen ist, erstmals als hybride Veranstaltung ausgerichtet und war auch eine der ersten Konferenzen, die nach der Pandemie wieder einen Präsenzteil hat.
