FOR­SCHUNGS­LA­BOR MI­KRO­ELEK­TRO­NIK BO­CHUM FÜR 2D-ELEK­TRO­NIK (FOR­LAB PIC­T2­DES)

das BMBF hat knapp 4 Mio. Euro aus dem Pro­gramm „For­schungs­la­bo­re Mi­kro­elek­tro­nik“ für den Auf­bau einer Clus­ter­an­la­ge be­wil­ligt, die die Ab­schei­dung und Struk­tu­rie­rung neu­ar­ti­ger, zwei­di­men­sio­na­ler Ma­te­ria­li­en für die Mi­kro­elek­tro­nik und für Elek­tro­nik­sys­te­me er­lau­ben wird. Die An­la­ge wird von Prof. An­ja­na Devi (AG Che­mie An­or­ga­ni­scher Ma­te­ria­li­en), Prof. Peter Awa­ko­wicz und Dr. Ju­li­an Schul­ze (Lehr­stuhl für All­ge­mei­ne Elek­tro­tech­nik und Plas­ma­tech­nik) sowie Dr. Clau­dia Bock und Prof. Mar­tin Hoff­mann (Lehr­stuhl für Mi­kro­sys­tem­tech­nik, Ko­or­di­na­ti­on) ge­mein­sam be­an­tragt, spe­zi­fi­ziert, be­schafft und be­trie­ben. Der Rein­raum des Lehr­stuhls bie­tet idea­le Vor­aus­set­zun­gen, um die­ses bis­lang ein­zig­ar­ti­ge Groß­ge­rät, das meh­re­re Be­schich­tungs- und Struk­tu­rie­rungs­ver­fah­ren in einer Va­ku­uman­la­ge in­te­griert, auf­zu­bau­en. Zu­künf­tig ste­hen dort auch alle wei­te­ren Tech­no­lo­gi­en zur Ver­fü­gung, die für die Be­ar­bei­tung von Wa­fern bis 200 mm be­nö­tigt wer­den. Wei­te­re In­for­ma­tio­nen fin­den Sie unter www.​elek­tro­nik­for­schung.​de/​pro­jek­te/​for­lab-pic­t2­des und in Kürze hier auf un­se­rer Fa­kul­täts­web­site.