Ein speziell angefertigtes Cluster Tool, das im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum genutzt wird, bietet faszinierende neue Möglichkeiten für die Elektronik-Forschung. Später sollen die Ergebnisse zum Beispiel in der Mikroelektronik genutzt werden. Über das besondere Gerät des Forschungslabor Mikroelektronik Bochum ist jetzt ein Artikel im Magazin Silicon Semiconductor erschienen.

Außer blinkenden Lämpchen und einem lauten Brummen, das den Raum erfüllt, ist kaum zu erahnen, dass etwas in diesem großen Gerät vor sich geht. Doch das Cluster Tool, das für das Projekt ForLab PICT2DES genutzt wird, hat es in sich: Es ermöglicht neue Grundlagenforschung zur elektronischen Nutzung von ultradünnen Schichten für die 2D-Elektronik. Ein solches prozessintegriertes Cluster Tool ist eine Anlage, in der komplette Prozessfolgen ohne Bruch des Vakuums durchgeführt werden können: Das ist insbesondere für die schnell alternden dünnen Filme wichtig, um eine direkte Kapselung in der Anlage durchzuführen.

Das Tool wurde speziell für das Labor angefertigt, um beispielsweise viele Zugänge für die Charakterisierung des Plasmas zu schaffen und darauf aufbauend eine wissensbasierte Prozessentwicklung durchzuführen – Anlagen „von der Stange“ bieten diese Möglichkeiten nicht. Auf diesem Weg können die Forschungsergebnisse schneller von der Industrie genutzt werden, zum Beispiel in der Medizintechnik, zur Entwicklung sehr empfindlicher Sensoren oder für die ultraskalierte Mikroelektronik.

Über die Möglichkeiten des Tools ist jetzt ein Artikel im Silicon Semiconductor Magazine erschienen.

Das Cluster Tool wird bereits erfolgreich im Projekt FlexTMDSense genutzt.
Die Forschungsergebnisse sollen später zum Beispiel für Sensoren im Gesundheitsbereich, für Wearables oder für intelligente Verpackungen genutzt werden.

Weitere Infos zum Cluster Tool gibt es bei der Firma Sentech und bei ForLab PICT2DES.