Im Rahmen des BMBF geförderten ForMikro Projekts FlexTMDSense - „Erforschung neuartiger, flexibler Sensorsysteme auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme“ werden ultradünne pH- und Gassensorsysteme auf Basis zweidimensionaler (2D) Halbleiterfilmen aus der Materialkasse der Übergangsmetalldichalkogenide erforscht. Die 2D-Elektronik/Sensorik ist transparent, flexibel und biokompatibel. Dabei besitzt die Technologie für dieses hochaktuelle Feld der Mikroelektronik - basierend auf 2D-Materialien - noch nicht den für industrielle Massenanwendungen notwendigen Reifegrad. Im Projekt FlexTMDSense wird eine innovative, monolagengenaue Depositions- und Abtragstechnologie bei niedrigen Temperaturen zur Herstellung kostengünstiger, flexibler, ultrasensitiver, elektronischer Gas- und pH-Sensoren erarbeitet und anschließend im industriellen Maßstab in einer 8-Zoll Clusteranlage hergestellt.
Mehr dazu auf der Homepage unter https://www.flextmdsense.ruhr-uni-bochum.de/index.html.
