LEHRSTUHL FÜR MIKROSYSTEMTECHNIK
Kooperationen
Ruhr-Universität Bochum:
- Forschungsgruppe Werkstoffe und Nanoelektronik
- ZGH Zentrum für Grenzflächendominierte
Höchstleistungswerkstoffe - Materials Research Department
- Research Department „Plasmas with Complex Interactions”
- Technischen Universität Ilmenau:
Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano® - VDE: VDE GMM Fachausschuss 4.7