CHAIR FOR MICROSYSTEMS TECHNOLOGY
Cooperations
Ruhr-University Bochum:
- Research Group Werkstoffe und Nanoelektronik
- ZGH Zentrum für Grenzflächendominierte
Höchstleistungswerkstoffe - Materials Research Department
- Research Department „Plasmas
with Complex Interactions”
- Technical University Ilmenau: Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®
- VDE: VDE GMM Fachausschuss 4.7