Zuordnung – Stand 01.07.2024

  • 1330 Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
  • 1395 Lehrstuhl für Werkstoffe und Nanoelektronik


2023

[1]
L. Schmitt, P. Conrad, A. Kopp, C. Ament, und M. Hoffmann, „Non-Inchworm Electrostatic Cooperative Micro-Stepper-Actuator Systems with Long Stroke“, Actuators, Bd. 12, Nr. 4, Art. Nr. 150, März 2023, doi: 10.3390/act12040150.

2022

[1]
P. Conrad, A. Berdnykov, und M. Hoffmann, „Design of a liquid dielectrophoresis-driven platform with cooperative actuation“, in Actuator 2022, Mannheim, 2022, Bd. 101, S. 182–185.
[2]
P. Conrad, L. Willeke, und M. Hoffmann, „Plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (ALD) von Al 2O3 für Isolationsschichten in EWOD-Systemen“, in Mikro-Nano-Integration, Aachen, 2022, Bd. 105, S. 118–122.

2021

[1]
P. Conrad und M. Hoffmann, „A consistent view on cooperative multistage electrostatic actuation“, in Actuator 2021, Online, 2021, Bd. 98, S. 431–434. [Online]. Verfügbar unter: https://ieeexplore.ieee.org/document/9400639

Nach oben

To Top