SFB-TR 87

| Sonderforschungsbereiche

Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten

 

Der SFB-TR87 kombiniert die Expertisen auf den Gebieten der Plasmaphysik/Plasmatechnik, der Werkstoffwissenschaften/Oberflächentechnik und der Grenzflächenchemie. Auf dieser Basis werden ternäre bzw. quarternäre keramische Schichtsysteme auf Metallsubstraten mit hervorragenden tribologischen Eigenschaften sowie silizium- bzw. kohlenstoffhaltige Oxidschichten mit herausragenden Barriereeigenschaften auf Kunsstoffsubstraten erforscht. Dazu wird neueste, teilweise selbstentwickelte Quellentechnologie zum Einsatz gebracht und mit einem sehr breiten, komplementären Spektrum an quantitativen, ebenfalls teilweise neu entwickelten Plasmadiagnostiken und einmaligen Einzelteilchenstrahl-Experimenten charakerisiert. Ziel ist es, die Zusammenhänge zwischen den Werkstoffeigenschaften und den Plasmaparametern zu erforschen, diese zu quantifizieren und zur Plasmakontrolle, Schichtentwicklung und in-situ Schichtkontrolle einzusetzen.

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