Universitäre Reinräume tragen in Deutschland wesentlich zur Grundlagenforschung auf dem Gebiet der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik bei. Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik betreibt einen 600 m2 großen Reinraum für Mikrosysteme und 2D-Elektronik im Sockelgeschoss des ETIT-Gebäudes ID, der gemeinsam mit RUB-internen wie externen Partnern für die Forschung genutzt wird.
Jetzt konnte die Registrierung des Reinraums in der RIsources-Datenbank der DFGals Gerätezentrum abgeschlossen werden, die eine vereinfachte Nutzung und Abrechnung ermöglicht. Die verfügbare Ausstattung und die Nutzungsordnung sind online verfügbar.
Der Reinraum umfasst eine MEMS-Fertigungslinie für Silicon-on-Insulator-Prozesse und eine Linie für 2D-Materialien für die Mikroelektronik der nächsten Generation. Beide Linien sind für 100 mm und 200 mm Wafer ausgelegt und verfügen über State-of-the-art Anlagentechnik.
Der Lehrstuhl Mikrosystemtechnik ist Mitglied im Verbund „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ ForLab und engagiert sich für die bundesweite Vernetzung der universitären Reinraum-Infrastrukturen im Rahmen des BMFTR-geförderten Projektes ForLab NataliE, gemeinsam mit der TU Dresden und der TU Ilmenau. Das ForLab-Netzwerk umfasst inzwischen mehr als 20 Standorte. Im März 2026 wird das ForLab-Konsortium die Fachtagung Mikroelektronik‘26 (FTME) in Bochum ausrichten.
