ZWEIDIMENSIONALE MATERIALYSTEME FÜR ELEKTRONIK UND SENSORIK
"Geh nicht immer auf dem vorgezeichneten Weg, der nur dahin führt, wo andere bereits gegangen sind."
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Diese zwei Videos zeigen eine mikromechanische Plattform, die auf Mikrotropfen gelagert ist und durch das Anlegen einer Spannung zwischen den Elektroden in der Ebene bewegt wird. Es liegt…
Abb. 8 zeigt einen Phasenschieber, der aus einem HR-Si basiertem Wellenleiter, Metamaterial und elektrostatischen Kammaktoren besteht. Wie in Video 3 gezeigt, variieren die Aktoren die…
Video 1 zeigt einen Stufenaktor, der bei gleicher Spannung eine stufenweise Auslenkung erreicht. Video 2 zeigt einen mechanischen Digital-Analog-Wandler (DAC), der mit nur 6 Aktoren bis zu…
Abgeschlossene Promotionen
Dr.-Ing. Anna Thewes Elektrostatische Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosysteme 06/2023
Dr.-Ing. Lisa Schmitt Elektrostatische MEMS-Schritt-Aktoren mit großen und…
