Verbundprojekt "PluTO" abgeschlossen

Erstellt von Lara Kris­tin Zei­tel | |   Aktuelle Meldungen

Neun Jahre lang lief das Pro­jekt "Plas­ma und op­ti­sche Tech­no­lo­gi­en" (PluTO) sowie das an­schluss­ge­för­der­te Pro­jekt PluTO+ vom Bun­des­mi­nis­te­ri­um für Bil­dung und For­schung (BMBF) an der Fa­kul­tät Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik.

2009 star­te­te das Pro­jekt erst­ma­lig und wurde nach der re­gu­lä­ren För­de­rungs­zeit 2012 noch bis 2014 ver­län­gert. Mit PluTO+ er­wei­ter­te sich diese För­de­rung um wei­te­re vier Jahre und fand nun am 30. Sep­tem­ber 2018 ein Ende. Be­tei­lig am Pro­jekt waren die vier Lehr­stüh­le Theo­re­ti­sche Elek­tro­tech­nik von Prof. Brink­mann, Elek­tro­ni­sche Schal­tungs­tech­nik, von Prof. Musch, Hoch­fre­quenz­sys­te­me von Prof. Rol­fes und All­ge­mei­ne Elek­tro­tech­nik und Plas­ma­tech­nik von Prof. Awa­ko­wicz. Dabei soll­ten funk­tio­na­le Ober­flä­chen und Be­schich­tun­gen für die pho­to­ni­sche Nut­zung ver­bes­sert wer­den, ins­be­son­de­re in der Er­zeu­gung.

Die vier Lehr­stüh­le der Fa­kul­tät Elek­tro­tech­nik und In­for­ma­ti­ons­tech­nik be­schäf­tig­ten sich vor allem mit der Wei­ter­ent­wick­lung und dem Ein­satz der Mul­ti­pol­re­so­nanz­son­de (MRP). Diese ist eine in Ko­ope­ra­ti­on der vier Lehr­stüh­le ent­wi­ckel­te Plas­ma­mess­tech­nik. Sie ba­siert auf dem Prin­zip ak­ti­ver Re­so­nanz­spek­tro­sko­pie und kann durch die Ein­kopp­lung eines hoch­fre­quen­ten Si­gnal (GHz-Be­reich) und die Aus­wer­tung der Sys­tem­ant­wort, die Elek­tro­nen­dich­te im Plas­ma be­stim­men.

Der Lehr­stuhl von Prof. Brink­mann über­nahm dabei die theo­re­ti­sche Mo­del­lie­rung des Sys­tems MRP-Plas­ma, um die Plas­ma­kenn­grö­ße zu er­mit­teln. Bei Prof. Rol­fes wurde das an­ge­pass­te Hoch­fre­quenz­de­sign (wei­ter)ent­wi­ckelt und neue Bau­for­men um­ge­setzt. Prof. Musch über­nahm mit sei­nen Mit­ar­bei­tern die Si­gnal­er­zeu­gung und -auf­nah­me. Am Lehr­stuhl von Prof. Awa­ko­wicz wurde der prak­ti­sche Ein­satz in di­ver­sen Pro­zes­sen und die in­dus­tri­el­le Nut­zung um­ge­setzt.

Im Pro­jekt wur­den Mo­ni­to­ring und Re­ge­lungs­ver­fah­ren ent­wi­ckelt, die die Lang­zeit­sta­bi­li­tät und Re­pro­du­zier­bar­keit der ab­ge­schie­de­nen op­ti­schen Schich­ten er­höht durch di­rek­ten Zu­gang zu den Pro­zess­pa­ra­me­tern. Klas­si­sche An­sät­ze nut­zen le­dig­lich äu­ße­re Kenn­grö­ßen wie Strom und Span­nung, die kei­ner­lei Auf­schluss über in­ter­ne Pro­zess­grö­ßen geben.

Durch die For­schung und Ent­wick­lung über die bei­den Pro­jekt­pha­sen konn­te die Mul­ti­pol­re­so­nanz­son­de so weit ent­wi­ckelt wer­den, dass nun eine Kom­mer­zia­li­sie­rung des Sys­tems be­vor­steht. So wird die Sonde allen Markt­teil­neh­mern zu­künf­tig kom­mer­zi­ell zur Ver­fü­gung ste­hen – und somit eine ge­lun­ge­ne Über­füh­rung wis­sen­schaft­li­cher Er­kennt­nis­se in die freie Wirt­schaft be­vor­ste­hen.

Ins­ge­samt wur­den im For­scher­ver­bund, zu dem unter an­de­rem meh­re­re In­sti­tu­te und In­dus­trie­part­ner (z.B. auch Glo­bal Play­er wie Bosch oder Ap­p­lied Ma­te­ri­als) zähl­ten, 10,5 Mio. Euro als För­der­mit­tel be­reit­ge­stellt.