PRAXIS-PROJEKTE UND BACHELOR- / MASTERARBEITEN
Praxis-Projekte und Bachelor- und Master-Arbeiten können jederzeit bei Vorliegen der Voraussetzungen begonnen werden.
Es besteht die Möglichkeit, in Forschungsprojekten abgegrenzte eigenständige Themen zu bearbeiten, die von der Simulation und dem Entwurf von Systemen bis zu deren Realisierung im Reinraum reichen.
Fragestellungen betreffen vor allem innovative Anwendungen auf aktuellen Feldern der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik, deren Simulation, Entwurf und Herstellung, Aufbau und Programmierung automatisierter Messplätze sowie die Charakterisierung von Bauelementen und Systemen. Entsprechend der interdisziplinären Natur der Mikrosystemtechnik sind die Themenschwerpunkte der Arbeiten für Studierende der Ingenieurwissenschaften (Elektrotechnik und Maschinenbau) ebenso geeignet wie für solche der Naturwissenschaften, insbesondere der Chemie und der Physik.
Die notwendige Einarbeitung wird bei der Aufgabenstellung berücksichtigt, so dass ein Abschluss der Arbeit innerhalb der vorgegebenen Fristen möglich ist; die Anmeldung erfolgt zeitnah bei Beginn der Arbeiten am Lehrstuhl. Ein Abschluss der Arbeit innerhalb des Semesters wird bei rechtzeitigem Start zugesichert.
Die Betreuung erfolgt im Labor in der Regel durch wissenschaftlichen Mitarbeiter(inn)en, bei inhaltlichen und organisatorischen Fragen sowie bei der Interpretation der Messresultate stehen auch Dr.-Ing. Claudia Bock, Dr.-Ing. Ulrich Wieser und Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann zur Verfügung.
Forschungsschwerpunkte und angebotene Bachelor-/Masterarbeiten:
Erforschung flexibler pH Sensorsysteme auf Basis von 2D Materialien
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Claudia Bock
Bachelor-/Masterarbeit:
- Herstellung und Charakterisierung MoS2 basierter ISFETs für die pH Messung
Betreuerin: Dr.-Ing. Claudia Bock
Flexible Dünnfilmtransistoren auf Basis von 2D Materialien
ALD Prozessentwicklung und die Integration derer in funktionale Bauelemente
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Claudia Bock, M. Sc. Leander Vogel
Bachelor-/Masterarbeit:
- Untersuchung von Vorbehandlungen für die 2D-Halbleiterherstellung in Atomlagenabscheidung (ALD) auf flexiblen Substraten
- Annealing von zweidimensionalem Molybdändisulfid (MoS2)-Halbleiterschichten mittels Temperung in H2S-Gas
- Herstellung und Charakterisierung von 2D-Materialbasierten Transistoren für moore’sche Skalierung
- Erzeugung und Charakterisierung von ultradünnen Materialstapeln (<50nm) auf flexiblem Glas
Betreuer: M. Sc. Leander Vogel
Passive Sensorik
Oberflächenmikromechanik
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Philip Schmitt
Bachelorarbeit:
- Aufbau eines Versuchsstands zur Charakterisierung von mikromechanischen Dehnungssensoren
gewünschte Vorkenntnisse: LabView, Inventor (CAD)
Masterarbeit:
- Entwicklung eines Versuchsstands zur automatisierten Eigenfrequenzanalyse von Mikrosystemen auf Waferlevel
gewünschte Vorkenntnisse: LabView, Inventor (CAD)
Betreuer: Dr.-Ing. Philip Schmitt
Mikroaktoren
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Lisa Schmitt, M. Sc. Marius Hillebrand
Bachelor-/Masterarbeit:
- Entwicklung isotroper Ätzprozesse zur Freistellung beweglicher Strukturen in Bulk-Silicium
- Entwurf und Simulation von Federsystemen für Kipp-Schiebe-Mechanismen
- Untersuchung mehrdirektionaler Mikroaktoren auf Basis asymmetrischer Felder
Betreuer: M. Sc. Marius Hillebrand
Mikrosystemtechnik für THz-Anwendungen
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Lisa Schmitt, M. Sc. Marcel Burfeindt
Bachelor-/Masterarbeit:
- Fügeverfahren für THz Anwendungen
- Schaltbare THz Systeme durch MEMS
Betreuer: M. Sc. Marcel Burfeindt