MIKRO-NANO-INTEGRATION
Dieses Thema bildet einen der langfristigen, übergreifenden Schwerpunkte der eigenen Forschung; seit 2007 leitet Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann den Fachausschuss 4.7…
Energieautarke Mikrosensorik
Alle sagten: „Das geht nicht!“ - Dann kam jemand, der das nicht wusste, und hat es einfach gemacht!
Energieautarke Systeme wurden bislang zumeist so verstanden, dass…
Ausstattung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfügt über Anlagen zur Präparation von Halbleitermikro- und -nanostrukturen. Ein Highlight an der RUB bietet zudem der Reinraum-Trakt im…
Forschung
Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik verfolgt derzeit vier Schwerpunkte, die sich insbesondere in der Technologie-Basis weitgehend überschneiden. Dazu steht ein eigener Reinraum zur…
