Vorlesungen

Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann bietet im Sommersemester 2026 die Vorlesungen „Mikrosysteme“ und „Design und Herstellung von MEMS“ für Master-Studierende an.

Mikrosysteme
Die Studierenden erlernen die Grundprinzipien, auf denen Mikrosysteme basieren, und können diese in Mikrosystemen identifizieren. Es werden Basis-Konzepte für einfache Mikrosysteme aufgestellt und die dafür notwendigen Randbedingungen definiert. Wesentliche Wandler-Konzepte der Mikrosystemtechnik werden beschreiben und auf einfache Anwendungen bezogen.
Weitere Informationen: Mikrosysteme

Design und Herstellung von MEMS
Es werden Entwurfsverfahren und Tech­no­lo­gi­en der Mi­kro­sy­tem­tech­nik vor­ge­stellt, die über die Er­zeu­gung rei­ner Elek­tro­nik-Struk­tu­ren hin­aus­ge­hen, aber oft auch auf Pro­zes­sen der Halb­lei­ter­tech­no­lo­gie auf­set­zen. Sie um­fas­sen Ver­fah­ren, die ge­eig­net sind, me­cha­ni­sche und flui­di­sche Sys­te­me zu fer­ti­gen. Es wird je­weils auf kon­kre­te An­wen­dun­gen Bezug ge­nom­men.
Weitere Informationen: Design und Herstellung von MEMS

Dr.-Ing. Claudia Bock und Dr.-Ing. Ulrich Wieser bieten die Vorlesung "Niedrigdimensionale Halbleitersysteme" für Master-Studierende an.
Eine weitere Vorlesung von Dr.-Ing. Claudia Bock ist „Elektronische Materialien“ für Bachelor-Studierende.

Niedrigdimensionale Halbleitersysteme
Nanostrukturen mit Abmessungen von typisch <300 nm zeichnen sich durch besondere Eigenschaften aus und werden in vieler Hinsicht in Bezug auf ihren Nutzen diskutiert. Die Studierenden lernen diese Eigenschaften kennen und können ihre Wirkung im Mikrosystem einschätzen sowie wichtige Effekte beschreiben und anwenden. Dabei wird sowohl auf etablierte konventionelle Halbleiter wie beispielsweise Si, GaAs/Al-GaAs wie auch auf neue Halbleitermaterialien wie die Übergangsmetall-Dichalkogenide eingegangen.
Weitere Informationen: Niedrigdimensionale Halbleitersysteme

Elektronische Materialien
Durch die Lehrveranstaltung "Elektronische Materialien" soll ein grundlegendes Verständnis für die elektronischen Eigenschaften von Metallen und Halbleitern erlangt werden.
Weitere Informationen: Elektronische Materialien

Praxisprojekt

Im Rahmen eines Praxisprojektes besteht am Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik die Möglichkeit, als Kleingruppe (ab 2 Personen) am VDE-Wettbewerb COSIMA (Competition of Students in Microsystems Application) teilzunehmen.
Gesucht werden neue Einsatzmöglichkeiten von Sensoren und Mikrosystemen, dabei insbesondere Anwendungen, die die Interaktion zwischen Mensch und Technik in verschiedensten Bereichen des täglichen Lebens verbessern und erleichtern.
Bis zum 31.05.2026 kann eine Anmeldung für den COSIMA Wettbewerb 2026 erfolgen.

Ansprechpartner am Lehrstuhl Mikrosystemtechnik ist M. Sc. Marius Hillebrand (E-Mail: marius.hillebrand(at)ruhr-uni-bochum.de).

Weitere Informationen und Details zum Praxisprojekt am Lehrstuhl Mikrosystemtechnik.

Infos zum Wettbewerb: https://www.cosima-mems.de
 

Die An­mel­dung zu den vom Lehrstuhl Mikrosystemtechnik angebotenen Vorlesungen er­folgt über Mood­le.