Der Lehr­stuhl für Mikrosystemtechnik wird von Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann geleitet und befasst sich mit allen Aspekten Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS), von der Idee bis zur Fertigung im Reinraum. 
Forschungsschwerpunkte sind neue ­Konzepte der 2D-Elektronik, zeitintegrale Sensoren, die Mikroaktorik, die Mikro-Nano-Integration sowie die Systemintegration für spezifische ­Anwendungsfelder.