Forschung
Der Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik befasst sich in der Forschung mit der Modellierung und numerischen Simulation technischer Niederdruck- und Atmosphärendruckplasmen, der Entwicklung aktiver Plasmadiagnostikverfahren für Industrieanwendungen sowie der Modellierung von Hochfrequenzplasmarandschichten. Die Simulation von Niederdruckplasmen geschieht dabei durch die particle-in-cell-Methode. Atmosphärendruckplasmen, in denen die Teilchendichte um einige Größenordnungen höher ist als in Niederdruckplasmen, werden durch eigenentwickelte Hybrid-Modelle simuliert, die fluiddynamische und kinetische Ansätze vereinen. In enger Kollaboration mit dem Lehrstuhl für Angewandte Elektrodynamik und Plasmatechnik werden experimentelle Daten und Simulationsergebnisse ausgewertet, um tieferes Verständnis über die jeweiligen Prozesse zu gewinnen und optimieren zu können.
Unsere Forschungsbereiche
Förderung und Koordination
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG), das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) sowie die Ruhr-Universität Bochum fördern Forschung und Entwicklung unter anderem in den Bereichen:
- Entwicklung einer Industrie-kompatiblen Plasmadiagnostik – Die Multipol-Resonanz-Sonde
- Modellierung plasmagestützter Abscheideprozesse
- Elektronenresonanzheizung in kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen
- Modellierung und Simulation von Hochfrequenzplasmen bei mittleren und hohen Drücken
Ausstattung
Der Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik verfügt über verschiedene Labore, in denen Plasmatechnik Anwendung findet.
Mehr dazu