Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik gehört zum Forschungsnetzwerk terahertz.NRW, das im Förderprogramm »Netzwerke 21« des MKW angesiedelt ist.

Folgende Themenschwerpunkte werden adressiert:

• Strahlformung und Strahlablenkung mit MEMS-gesteuerten passiven Strahlformungssystemen
• Qualifizierung aktuierter Phasenschieber zur mechanischen Laufzeitverlängerung
• Mikrofluidischen THz-Systeme und Biosensoren: Evaluierung im Hinblick auf ihre Einsatzmöglichkeiten im Bio- und Umweltmonitoring
• THz-Sensorik: Kombination von hochauflösender THz-Nahfeldsensorik und neuartigen funktionalen Oberflächen zu funktionalisierten Sensormessprinzipien
• Charakterisierung und Qualifizierung von 2D Metamaterialien